公开(公告)号：CN113089082A

公开(公告)日：2021-07-09

申请号：CN202110321694.9

申请日：2021-03-25

Applicant: 杨伟洛

Inventor： 杨伟洛

IPC: C30B15/20 ,  C30B29/06

Abstract: 一种电路硅片制造的自动调节装置，包括有硅棒制造单元，硅棒制造单元包括石英坩埚，所述装置还包括有通过旋转轮流为硅棒制造单元提供原料的储料单元，所述储料单元包括位于硅棒制造单元侧边的支架、第一箱体、第二箱体、齿盘、第一太阳轮、第一行星轮和第一行星架；它可以随时为硅棒制造单元提供物料，且便于在实际生产时更换物料配方，用于制造不同用途的硅棒，而不用打开硅棒制造单元，提升效率，降低成本。

公开(公告)号：CN113061976A

公开(公告)日：2021-07-02

申请号：CN202110321689.8

申请日：2021-03-25

Applicant: 杨伟洛

Inventor： 杨伟洛

IPC: C30B15/00 ,  C30B15/30 ,  C30B15/20 ,  C30B15/32 ,  C30B29/06

Abstract: 一种基于切克劳斯基法的单晶硅拉制装置，包括有真空筒体、用于存储液态硅的可旋转石英坩锅和用于抓取晶种的电控机械爪，所述装置还包括有用于转动和升降电控机械爪的旋转单元、用于切换旋转单元转动和升降功能的切换单元、用于为电控机械爪提供晶种的晶种单元和出料单元。本发明工作时，不需要频繁打开真空筒体进行晶种更换，可连续进行单晶硅棒生长工作，增加工作效率，且避免频繁开关真空筒体，减少了工作成本。