公开(公告)号：CN101438632B

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN200780016080.8

申请日：2007-04-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 松森正史 ,  中塚茂树 ,  一木隆范

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/24 ,  H01L21/205 ,  B23K10/00 ,  G01N37/00

Abstract: 一种大气压等离子体产生装置，包括：基板(2、22)；配置在基板(2、22)上的天线(3、17、26、38)；配置在天线(3、17、26、38)附近的放电管(4、18、28、37)；将VHF频段的高频功率供给天线(3、14、26、38)的高频电源(8)；以及输入来自高频电源(8)的高频并调整反射波的匹配电路(7)，其中，在匹配电路(7)与天线(3、17、26、38)之间连接相位电路(6)，设定相位电路(6)的电路常数，使得驻波的电流振幅最大值的位置或驻波的电压振幅最小值的位置为天线(3、17、26、38)附近，从而效率良好地产生等离子体而且能小型化。

公开(公告)号：CN101438632A

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200780016080.8

申请日：2007-04-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 松森正史 ,  中塚茂树 ,  一木隆范

IPC: H05H1/24 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  B23K10/00 ,  G01N37/00

Abstract: 一种大气压等离子体产生装置，包括：基板(2、22)；配置在基板(2、22)上的天线(3、17、26、38)；配置在天线(3、17、26、38)附近的放电管(4、18、28、37)；将VHF频段的高频功率供给天线(3、14、26、38)的高频电源(8)；以及输入来自高频电源(8)的高频并调整反射波的匹配电路(7)，其中，在匹配电路(7)与天线(3、17、26、38)之间连接相位电路(6)，设定相位电路(6)的电路常数，使得驻波的电流振幅最大值的位置或驻波的电压振幅最小值的位置为天线(3、17、26、38)附近，从而效率良好地产生等离子体而且能小型化。