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公开(公告)号:CN1233933A
公开(公告)日:1999-11-03
申请号:CN99103606.9
申请日:1999-03-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H05K13/04
CPC classification number: H05K13/0409 , Y10S29/044 , Y10T29/53091 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53183 , Y10T29/53191
Abstract: 一种电子器件安装装置包括:一电子器件供给部。一安装头用来将各电子器件从电子器件供给部运送出去。所述安装头包括多个能分别保持住各电子器件的吸嘴。一电子器件安装部能使所述安装头将各电子器件安装到一电路板上。一第一机构用来使每一吸嘴旋转。一第二机构用来使每一吸嘴向上和向下移动。所述第一机构包括:一设置在每一吸嘴的外圆周表面上的小齿轮,以及一与所述小齿轮相啮合的齿条。
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公开(公告)号:CN1130115C
公开(公告)日:2003-12-03
申请号:CN99103606.9
申请日:1999-03-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H05K13/04
CPC classification number: H05K13/0409 , Y10S29/044 , Y10T29/53091 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53183 , Y10T29/53191
Abstract: 一种电子器件安装装置包括:一电子器件供给部。一安装头用来将各电子器件从电子器件供给部运送出去。所述安装头包括多个能分别保持住各电子器件的吸嘴。一电子器件安装部能使所述安装头将各电子器件安装到一电路板上。一第一机构用来使每一吸嘴旋转。一第二机构用来使每一吸嘴向上和向下移动。所述第一机构包括:一设置在每一吸嘴的外圆周表面上的小齿轮,以及一与所述小齿轮相啮合的齿条。
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公开(公告)号:CN101438632B
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN200780016080.8
申请日:2007-04-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/24 , H01L21/205 , B23K10/00 , G01N37/00
Abstract: 一种大气压等离子体产生装置,包括:基板(2、22);配置在基板(2、22)上的天线(3、17、26、38);配置在天线(3、17、26、38)附近的放电管(4、18、28、37);将VHF频段的高频功率供给天线(3、14、26、38)的高频电源(8);以及输入来自高频电源(8)的高频并调整反射波的匹配电路(7),其中,在匹配电路(7)与天线(3、17、26、38)之间连接相位电路(6),设定相位电路(6)的电路常数,使得驻波的电流振幅最大值的位置或驻波的电压振幅最小值的位置为天线(3、17、26、38)附近,从而效率良好地产生等离子体而且能小型化。
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公开(公告)号:CN101438632A
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200780016080.8
申请日:2007-04-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H05H1/24 , H01L21/205 , H01L21/3065 , B23K10/00 , G01N37/00
Abstract: 一种大气压等离子体产生装置,包括:基板(2、22);配置在基板(2、22)上的天线(3、17、26、38);配置在天线(3、17、26、38)附近的放电管(4、18、28、37);将VHF频段的高频功率供给天线(3、14、26、38)的高频电源(8);以及输入来自高频电源(8)的高频并调整反射波的匹配电路(7),其中,在匹配电路(7)与天线(3、17、26、38)之间连接相位电路(6),设定相位电路(6)的电路常数,使得驻波的电流振幅最大值的位置或驻波的电压振幅最小值的位置为天线(3、17、26、38)附近,从而效率良好地产生等离子体而且能小型化。
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