固态成像器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1956204A

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN200610142879.9

    申请日:2006-10-27

    CPC classification number: H01L27/14627 H01L27/14632 H01L27/14687

    Abstract: 提供一种固态成像器件的制造方法,能够实现一种固态成像器件,其反射阻止涂层是平整的并且在采用旋涂法将反射阻止涂层的材料施加在固态成像器件的微透镜上的情况下没有图像噪声。在根据本发明的固态成像器件1中,在位于相邻成像区域9之间的切割区域5X内形成阻挡壁图案7作为分步减轻结构。阻挡壁图案7具有矩形截面形状。在旋涂法中使用阻挡壁图案7,反射阻止涂层8比通常情况下能更平整地涂敷在微透镜6上。

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