惯性力传感器及复合惯性力传感器

    公开(公告)号:CN101617198B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN200880005466.3

    申请日:2008-02-19

    Abstract: 一种惯性力传感器,具有检测元件(1),所述检测元件(1)具有加速度检测部,并且,所述检测元件(1)具有:将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2),第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄,从而提高检测灵敏度。

    惯性力传感器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101405568B

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN200780009453.9

    申请日:2007-03-26

    CPC classification number: G01P15/09 G01C19/5719 G01P15/18 H01L41/08

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器(50),其包括用以检测惯性力的检测元件(1),检测元件(1)具有:两个第1正交臂(52),其在实质正交方向上连结有第1臂(2)和第2臂(4);支承部(6),其支承两个第1臂(2);固定用臂(8);以及锤部(14)。并且,第2臂(4)具有:弯折部(4a);相对部(16),其在弯折部(4a)处弯折,并与第2臂(4)相对;驱动电极(18),其设置在彼此相对的其中两个相对部(16)处,并对相对部(16)进行驱动振动;以及检测电极(20),其设在另外两个相对部(16)处,并检测相对部(16)的变形。根据此结构,能够获得小型惯性力传感器(50),其能够检测互不相同的多个惯性力且能够检测多个检测轴的惯性力。

    惯性力传感器及复合惯性力传感器

    公开(公告)号:CN101617198A

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:CN200880005466.3

    申请日:2008-02-19

    Abstract: 一种惯性力传感器,具有检测元件(1),所述检测元件(1)具有加速度检测部,并且,所述检测元件(1)具有:将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2),第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄,从而提高检测灵敏度。

    惯性力传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101405569A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200780009646.4

    申请日:2007-04-10

    CPC classification number: G01C19/5607

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器,在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部,从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。

    惯性力传感器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102589538B

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201210001632.0

    申请日:2007-04-10

    CPC classification number: G01C19/5607

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器,在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部,从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。

    惯性力传感器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102589538A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210001632.0

    申请日:2007-04-10

    CPC classification number: G01C19/5607

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器,在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部,从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。

    惯性力传感器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101506617A

    公开(公告)日:2009-08-12

    申请号:CN200780030821.8

    申请日:2007-08-20

    CPC classification number: H01L41/08 G01C19/574

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备检测元件(1),该检测元件(1)具有:在正交方向上将第一臂(2)连接于第二臂(4)而形成的两个正交臂;支承两个第一臂(2)的支承部(6);以及一端与支承部(6)连接且另一端固定在安装基板上的两个固定用臂(8),第二臂(4)上设有弯折至与第二臂(4)本身相对的相对部(16),锤部(11)连接于第二臂(4)的前端部,该锤部(11)上设有凹部(12)且第二臂(4)的前端部连接于该凹部(12)。

    惯性力传感器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101506617B

    公开(公告)日:2011-11-30

    申请号:CN200780030821.8

    申请日:2007-08-20

    CPC classification number: H01L41/08 G01C19/574

    Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备检测元件(1),该检测元件(1)具有:在正交方向上将第一臂(2)连接于第二臂(4)而形成的两个正交臂;支承两个第一臂(2)的支承部(6);以及一端与支承部(6)连接且另一端固定在安装基板上的两个固定用臂(8),第二臂(4)上设有弯折至与第二臂(4)本身相对的相对部(16),锤部(11)连接于第二臂(4)的前端部,该锤部(11)上设有凹部(12)且第二臂(4)的前端部连接于该凹部(12)。

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