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公开(公告)号:CN101617198B
公开(公告)日:2011-12-14
申请号:CN200880005466.3
申请日:2008-02-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 一种惯性力传感器,具有检测元件(1),所述检测元件(1)具有加速度检测部,并且,所述检测元件(1)具有:将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2),第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄,从而提高检测灵敏度。
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公开(公告)号:CN101405568B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200780009453.9
申请日:2007-03-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P15/09 , G01C19/5719 , G01P15/18 , H01L41/08
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器(50),其包括用以检测惯性力的检测元件(1),检测元件(1)具有:两个第1正交臂(52),其在实质正交方向上连结有第1臂(2)和第2臂(4);支承部(6),其支承两个第1臂(2);固定用臂(8);以及锤部(14)。并且,第2臂(4)具有:弯折部(4a);相对部(16),其在弯折部(4a)处弯折,并与第2臂(4)相对;驱动电极(18),其设置在彼此相对的其中两个相对部(16)处,并对相对部(16)进行驱动振动;以及检测电极(20),其设在另外两个相对部(16)处,并检测相对部(16)的变形。根据此结构,能够获得小型惯性力传感器(50),其能够检测互不相同的多个惯性力且能够检测多个检测轴的惯性力。
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公开(公告)号:CN101617198A
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200880005466.3
申请日:2008-02-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 一种惯性力传感器,具有检测元件(1),所述检测元件(1)具有加速度检测部,并且,所述检测元件(1)具有:将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2),第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄,从而提高检测灵敏度。
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公开(公告)号:CN101405569A
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN200780009646.4
申请日:2007-04-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器,在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部,从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。
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公开(公告)号:CN1930447A
公开(公告)日:2007-03-14
申请号:CN200580007123.7
申请日:2005-03-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种可实现音叉的稳定驱动和角速度传感器的小型化并且即使在高温环境下使用也可对车体进行高精度控制的角速度传感器用音叉型振荡器、一种使用此振荡器的角速度传感器、和一种使用此角速度传感器的车辆。由电流放大器(40a)、(40b)分别对从设置在音叉臂(10b)上的上部电极(13a)、(14a)得到的电荷进行放大。由第一差动放大器(41)差动放大上述已放大的信号,并将此已放大的信号用作音叉驱动用的监测信号。将由加法部(60)对来自电流放大器(40a)、(40b)的输出信号进行加法运算后得到的加法信号,用作角速度检测用的信号。
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公开(公告)号:CN102589538B
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201210001632.0
申请日:2007-04-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器,在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部,从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。
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公开(公告)号:CN102589538A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201210001632.0
申请日:2007-04-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器,在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部,从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。
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公开(公告)号:CN101506617A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200780030821.8
申请日:2007-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/08 , G01C19/574
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备检测元件(1),该检测元件(1)具有:在正交方向上将第一臂(2)连接于第二臂(4)而形成的两个正交臂;支承两个第一臂(2)的支承部(6);以及一端与支承部(6)连接且另一端固定在安装基板上的两个固定用臂(8),第二臂(4)上设有弯折至与第二臂(4)本身相对的相对部(16),锤部(11)连接于第二臂(4)的前端部,该锤部(11)上设有凹部(12)且第二臂(4)的前端部连接于该凹部(12)。
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公开(公告)号:CN101360968A
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200780001605.0
申请日:2007-01-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件,检测元件具有第1正交臂和支承部,第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结,支承部支承第1臂。而且,第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力,也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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公开(公告)号:CN101506617B
公开(公告)日:2011-11-30
申请号:CN200780030821.8
申请日:2007-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/08 , G01C19/574
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器,其具备检测元件(1),该检测元件(1)具有:在正交方向上将第一臂(2)连接于第二臂(4)而形成的两个正交臂;支承两个第一臂(2)的支承部(6);以及一端与支承部(6)连接且另一端固定在安装基板上的两个固定用臂(8),第二臂(4)上设有弯折至与第二臂(4)本身相对的相对部(16),锤部(11)连接于第二臂(4)的前端部,该锤部(11)上设有凹部(12)且第二臂(4)的前端部连接于该凹部(12)。
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