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公开(公告)号：CN102589538B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201210001632.0
申请日：2007-04-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器，其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器，在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部，从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。
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公开(公告)号：CN102589538A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210001632.0
申请日：2007-04-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器，其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器，在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部，从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。
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公开(公告)号：CN101506617A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200780030821.8
申请日：2007-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/08 , G01C19/574
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器，其具备检测元件(1)，该检测元件(1)具有：在正交方向上将第一臂(2)连接于第二臂(4)而形成的两个正交臂；支承两个第一臂(2)的支承部(6)；以及一端与支承部(6)连接且另一端固定在安装基板上的两个固定用臂(8)，第二臂(4)上设有弯折至与第二臂(4)本身相对的相对部(16)，锤部(11)连接于第二臂(4)的前端部，该锤部(11)上设有凹部(12)且第二臂(4)的前端部连接于该凹部(12)。
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公开(公告)号：CN101360968A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200780001605.0
申请日：2007-01-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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公开(公告)号：CN1764821A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200580000023.1
申请日：2005-01-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5614
Abstract: 本发明提供一种角速度传感器，通过使用开关而在接头上产生同相的驱动信号，使臂(2)、(3)同时向音叉振子1的Z方向弯曲。分别由第一放大器和第二放大器对在臂(2)、(3)上设置的第十电极(22)和第十二电极(25)所得到的电荷进行放大处理。将这些输出值输入到差动放大器，由比较器对该输出值和由基准值发生装置所产生的规定值进行比较，在超过规定值的情况下判断为异常。由此，在音叉振子上不设置特别的异常诊断用信号输入电极、以及用于降低角速度输出的检测误差的基准电位接地电极的情况下，就能够进行异常诊断。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1596363A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN03801664.8
申请日：2003-08-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1)，分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110)，用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150)，以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120)，其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成，而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成，取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成，借此防止下电极层与上电极层间的短路。
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公开(公告)号：CN101617198B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200880005466.3
申请日：2008-02-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 一种惯性力传感器，具有检测元件(1)，所述检测元件(1)具有加速度检测部，并且，所述检测元件(1)具有：将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2)，第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄，从而提高检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN101405568B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200780009453.9
申请日：2007-03-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P15/09 , G01C19/5719 , G01P15/18 , H01L41/08
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器(50)，其包括用以检测惯性力的检测元件(1)，检测元件(1)具有：两个第1正交臂(52)，其在实质正交方向上连结有第1臂(2)和第2臂(4)；支承部(6)，其支承两个第1臂(2)；固定用臂(8)；以及锤部(14)。并且，第2臂(4)具有：弯折部(4a)；相对部(16)，其在弯折部(4a)处弯折，并与第2臂(4)相对；驱动电极(18)，其设置在彼此相对的其中两个相对部(16)处，并对相对部(16)进行驱动振动；以及检测电极(20)，其设在另外两个相对部(16)处，并检测相对部(16)的变形。根据此结构，能够获得小型惯性力传感器(50)，其能够检测互不相同的多个惯性力且能够检测多个检测轴的惯性力。
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公开(公告)号：CN1609556B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200410085294.9
申请日：2004-10-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 本发明提供一种旋转率传感器，它包括：检测元件、电路单元、气密封容器及弹性体，其中，由这些零部件构成的机械系统的合成振动频率、以及相当于检测元件的驱动方向的共振频率和检测元件的旋转率检测方向的共振频率之差的施加旋转率的频率，小于检测元件的驱动方向的共振频率及检测元件的旋转率检测方向的共振频率，而且，电路单元的低通滤波器的截止频率，也小于合成共振频率及施加旋转率的频率。
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公开(公告)号：CN101617198A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200880005466.3
申请日：2008-02-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 一种惯性力传感器，具有检测元件(1)，所述检测元件(1)具有加速度检测部，并且，所述检测元件(1)具有：将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2)，第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄，从而提高检测灵敏度。
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