公开(公告)号：CN1120683A

公开(公告)日：1996-04-17

申请号：CN95103125.2

申请日：1995-03-15

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 井上隆史 ,  长野宽之 ,  石井好道

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70575 ,  G03F7/7035 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70783

Abstract: 曝光方法及其装置，从掩模上方用光束照射与基片靠近保持着的掩模，将掩模图案转印到基片的感光层上，包括如下步骤：用间隙测量装置测量被局部扫描和照射的掩模部分和被局部照射的基片部分之间的间隙；比较该间隙测定值和设定值；按测定值和设定值之差使掩模和/或基片局部变形以使该间隙趋向预定值。不必使用大口径的聚光透镜，可使装置小型化、降低成本，并可在整个区域获得高析像度的曝光。

公开(公告)号：CN1048791C

公开(公告)日：2000-01-26

申请号：CN96119246.1

申请日：1996-11-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石井好道 ,  鐮谷良一 ,  望月博之

IPC: F16B21/20 ,  F16B9/02

CPC classification number: H05K13/003 ,  Y10S206/82

Abstract: 一种元件固定器，具有一个元件安置部分5限定一个元件8的安装空间5a，具有一个将元件8固定在安装空间5a的固定件9。元件安置部分5的构成是其能够在固定位置与从固定位置向上突出的突起位置之间移动。同时固定部件9设计成相应于元件安置部分5在固定位置与突起位置之间的移动，其在用于固定元件8的固定位置与用来打开安装空间5a的缩回位置之间移动。

公开(公告)号：CN1217869A

公开(公告)日：1999-05-26

申请号：CN97194405.9

申请日：1997-05-07

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石井好道 ,  望月博之

IPC: H05K13/04

CPC classification number: H05K13/04 ,  H05K13/0417 ,  Y10T29/49829 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53261 ,  Y10T29/53539

Abstract: 一种零件装配方法,是从依次向零件供给位置(52a)供给多个零件的多个零件供给装置(52)依次取出零件(62－65),并把这些零件(62－65)依次搬运到规定的装配位置(54a、154a、157a)装配成产品(61),然后将装配好的产品(61)搬运到具有多个保持凹部的产品存放装置(53、153)的各个保持凹部中保持。采用本零件装配方法,可以用小型、结构简单的零件装配装置来装配产品,同时可以把产品以保持在产品存放装置的保持凹部内的形式向下一道工序供给。

公开(公告)号：CN1156792A

公开(公告)日：1997-08-13

申请号：CN96119246.1

申请日：1996-11-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 石井好道 ,  鎌谷良一 ,  望月博之

IPC: F16B1/00

CPC classification number: H05K13/003 ,  Y10S206/82

Abstract: 一种元件固定器，具有一个元件安置部分5限定一个元件8的安装空间5a，具有一个将元件8固定在安装空间5a的固定件9。元件安置部分5的构成是其能够在固定位置与从固定位置向上突出的突起位置之间移动。同时固定部件9设计成相应于元件安置部分5在固定位置与突起位置之间的移动，其在用于固定元件8的固定位置与用来打开安装空间5a的缩回位置之间移动。