公开(公告)号：CN101923060B

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201010200538.9

申请日：2010-06-02

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 胁谷康一 ,  巢之内聪裕 ,  福田雅典

IPC: G01N21/956

Abstract: 本发明提供一种在进行摄像时、仅使分辨率变化、准确地除去重复图案、检测出缺陷图案的摄像检查方法的结构及方法。在检查具有重复图案的被检查物时，为了从拍摄到的图像上除去正常的重复图案，以使被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比那样的分辨率进行摄像。并决定适当的定时，使得摄像机进行摄像的定时采用不相等的间隔，使得利用摄像机对重复图案的被检查物的一部分101’进行摄像，得到拍摄图像151。由此，以被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比的分辨率进行摄像，能够除去正常的重复图案，且能够检测出缺陷图案。

公开(公告)号：CN101923060A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN201010200538.9

申请日：2010-06-02

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 胁谷康一 ,  巢之内聪裕 ,  福田雅典

IPC: G01N21/956

Abstract: 本发明提供一种在进行摄像时、仅使分辨率变化、准确地除去重复图案、检测出缺陷图案的摄像检查方法的结构及方法。在检查具有重复图案的被检查物时，为了从拍摄到的图像上除去正常的重复图案，以使被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比那样的分辨率进行摄像。并决定适当的定时，使得摄像机进行摄像的定时采用不相等的间隔，使得利用摄像机对重复图案的被检查物的一部分101’进行摄像，得到拍摄图像151。由此，以被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比的分辨率进行摄像，能够除去正常的重复图案，且能够检测出缺陷图案。