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公开(公告)号：CN102221562A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201110068232.7
申请日：2011-03-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956 , H04N5/225
Abstract: 本发明的目的在于提供一种图案检查方法、图案检查装置、及图案检查装置用摄像头。该简洁地对准多个摄像单元的焦点的图案检查装置将多个摄像单元(5a)、(5b)、(5c)固定在相对于被检查物(2)的表面可在接近离开方向(Z)移动的1个台座(4)，将摄像单元(5b)、(5c)的光学透镜系统单元(8b)、(8c)在接近离开方向(Z)驱动并进行焦距对准，对形成于被检查物(2)上的图案(3)进行检查。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101852744B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010157972.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种可以缩短对检查被检查物的图案而求出的缺陷进行再检查的复查动作的时间的拍摄检查装置。具有：使被检查物(109)与拍摄扫描被检查物(109)以检测缺陷的检查光学系统(103)在X方向相对移动的检查光学系统移动机构(107)；使被检查物和仅拍摄缺陷的周边的复查光学系统(104)在X方向相对移动、并使检查光学系统(103)与复查光学系统(104)在与X方向垂直的Y方向相对移动的复查光学系统移动机构(105)；以及使检查光学系统移动机构(107)和复查光学系统移动机构(105)运转的控制机构(300)，控制机构(300)在检查光学系统(103)的拍摄扫描中，控制复查光学系统(104)，使其对缺陷的周边进行拍摄。
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公开(公告)号：CN101923060A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010200538.9
申请日：2010-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种在进行摄像时、仅使分辨率变化、准确地除去重复图案、检测出缺陷图案的摄像检查方法的结构及方法。在检查具有重复图案的被检查物时，为了从拍摄到的图像上除去正常的重复图案，以使被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比那样的分辨率进行摄像。并决定适当的定时，使得摄像机进行摄像的定时采用不相等的间隔，使得利用摄像机对重复图案的被检查物的一部分101’进行摄像，得到拍摄图像151。由此，以被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比的分辨率进行摄像，能够除去正常的重复图案，且能够检测出缺陷图案。
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公开(公告)号：CN101852744A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010157972.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种可以缩短对检查被检查物的图案而求出的缺陷进行再检查的复查动作的时间的拍摄检查装置。具有：使被检查物(109)与拍摄扫描被检查物(109)以检测缺陷的检查光学系统(103)在X方向相对移动的检查光学系统移动机构(107)；使被检查物和仅拍摄缺陷的周边的复查光学系统(104)在X方向相对移动、并使检查光学系统(103)与复查光学系统(104)在与X方向垂直的Y方向相对移动的复查光学系统移动机构(105)；以及使检查光学系统移动机构(107)和复查光学系统移动机构(105)运转的控制机构(300)，控制机构(300)在检查光学系统(103)的拍摄扫描中，控制复查光学系统(104)，使其对缺陷的周边进行拍摄。
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公开(公告)号：CN102221562B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201110068232.7
申请日：2011-03-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956 , H04N5/225
Abstract: 本发明的目的在于提供一种图案检查方法及图案检查装置。该简洁地对准多个摄像单元的焦点的图案检查装置将多个摄像单元(5a)、(5b)、(5c)固定在相对于被检查物(2)的表面可在接近离开方向(Z)移动的1个台座(4)，将摄像单元(5b)、(5c)的光学透镜系统单元(8b)、(8c)在接近离开方向(Z)驱动并进行焦距对准，对形成于被检查物(2)上的图案(3)进行检查。
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公开(公告)号：CN101923060B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201010200538.9
申请日：2010-06-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明提供一种在进行摄像时、仅使分辨率变化、准确地除去重复图案、检测出缺陷图案的摄像检查方法的结构及方法。在检查具有重复图案的被检查物时，为了从拍摄到的图像上除去正常的重复图案，以使被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比那样的分辨率进行摄像。并决定适当的定时，使得摄像机进行摄像的定时采用不相等的间隔，使得利用摄像机对重复图案的被检查物的一部分101’进行摄像，得到拍摄图像151。由此，以被检查物的重复周期与拍摄图像的分辨率成为整数比的分辨率进行摄像，能够除去正常的重复图案，且能够检测出缺陷图案。
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