公开(公告)号：CN1157806C

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN96111969.1

申请日：1996-08-30

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 高山他 ,  仓增敬三郎 ,  须川俊夫

IPC: H01L41/047

CPC classification number: H03H9/6483 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02897 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/14538

Abstract: 本发明的目的是提供一种应用了可承受大的外加功率又防止插入损耗增加的叉指式换能器电极的SAW器件。其构成是具有压电体基板和设于该压电体基板的表面上边的叉指式换能器电极，上述叉指式换能器电极被构成为使铝膜和由其弹性系数比铝膜大的导电体材料构成的膜交互地进行叠层，且由上述导电体材料构成的膜及上述铝膜的叠层数目各为2层以上，上述铝膜的各层的厚度小于150nm，而且，由上述导电体材料构成的膜的各层的厚度比上述铝膜的厚度薄，上述导电体材料由钛、铜、钯、铬、钼、钨、钽、铌、锆、铪、钒、镍和银中选择的一种材料构成，上述叉指式换能器电极的最表面层是上述铝膜，而且其膜厚小于50nm。

公开(公告)号：CN1149205A

公开(公告)日：1997-05-07

申请号：CN96111969.1

申请日：1996-08-30

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 高山他 ,  仓增敬三郎 ,  须川俊夫

IPC: H01L49/00

CPC classification number: H03H9/6483 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02897 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/14538

Abstract: 本发明的目的是提供一种应用了可承受大的外加功率又防止插入损耗增加的叉指式换能器电极的SAW器件。其构成是具有在压电体基板1的表面上交互地叠层铝膜31-45和由其弹性系数比该铝膜大的导电性材料构成的膜51-60而形成的叉指式换能器电极2。