公开(公告)号：CN101971319A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980108721.1

申请日：2009-03-13

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前田荣裕 ,  吉桥正博

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6831 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供一种基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置，在基板保持架上保持基板的状态下可靠地搬送。基板保持架，利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板，并在保持基板的状态下被搬送，具备：载置基板的保持架主体；和从保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。此外，基板搬送装置，用于对利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板的基板保持架进行搬送，具备：具有供基板保持架载置的载置面，用于保持基板保持架的载置部；和向载置于载置面的基板保持架供电的电力供给端子。

公开(公告)号：CN103227136B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201310020980.7

申请日：2009-03-13

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前田荣裕 ,  吉桥正博

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6831 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供一种基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置，在基板保持架上保持基板的状态下可靠地搬送。基板保持架，利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板，并在保持基板的状态下被搬送，具备：载置基板的保持架主体；和从保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。此外，基板搬送装置，用于对利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板的基板保持架进行搬送，具备：具有供基板保持架载置的载置面，用于保持基板保持架的载置部；和向载置于载置面的基板保持架供电的电力供给端子。

公开(公告)号：CN103227136A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310020980.7

申请日：2009-03-13

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前田荣裕 ,  吉桥正博

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6831 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供一种基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置，在基板保持架上保持基板的状态下可靠地搬送。基板保持架，利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板，并在保持基板的状态下被搬送，具备：载置基板的保持架主体；和从保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。此外，基板搬送装置，用于对利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板的基板保持架进行搬送，具备：具有供基板保持架载置的载置面，用于保持基板保持架的载置部；和向载置于载置面的基板保持架供电的电力供给端子。

公开(公告)号：CN101971319B

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN200980108721.1

申请日：2009-03-13

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前田荣裕 ,  吉桥正博

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6831 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68771

Abstract: 本发明提供一种基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置，在基板保持架上保持基板的状态下可靠地搬送。基板保持架，利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板，并在保持基板的状态下被搬送，具备：载置基板的保持架主体；和从保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。此外，基板搬送装置，用于对利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板的基板保持架进行搬送，具备：具有供基板保持架载置的载置面，用于保持基板保持架的载置部；和向载置于载置面的基板保持架供电的电力供给端子。

公开(公告)号：CN115244650A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202180019351.5

申请日：2021-03-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前田荣裕 ,  下田敏正 ,  三石创 ,  森博史 ,  高畑贵匠 ,  吉桥正博 ,  塩见隆 ,  前原义弘

IPC: H01L21/02

Abstract: 控制对利用基板贴合装置相互贴合的两个基板间供给的气体的供给条件的控制装置基于针对基板、在贴合基板前所贴合的其他基板以及基板贴合装置中的至少一个测量出的测量结果来控制供给条件。