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公开(公告)号：CN115244650A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202180019351.5
申请日：2021-03-05
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 前田荣裕 , 下田敏正 , 三石创 , 森博史 , 高畑贵匠 , 吉桥正博 , 塩见隆 , 前原义弘
IPC: H01L21/02
Abstract: 控制对利用基板贴合装置相互贴合的两个基板间供给的气体的供给条件的控制装置基于针对基板、在贴合基板前所贴合的其他基板以及基板贴合装置中的至少一个测量出的测量结果来控制供给条件。
