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公开(公告)号：CN104271468A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380024674.9
申请日：2013-05-10
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B65D85/48 , B65D19/44 , B65D85/86 , G03F1/66 , H01L21/673
CPC classification number: B65D19/42 , B65D19/0073 , B65D19/44 , B65D2519/00273 , B65D2519/00293 , B65D2519/00323 , B65D2519/00338 , H01L21/67353 , H01L21/67369 , H01L21/67724
Abstract: 基板箱(1)，其用于将对角尺寸超过2m的大型基板收容在内部并搬运已收容的基板。基板箱(1)，具有：下部箱单元(20)，在上面侧设有将基板的前后左右的缘部支承的基板支承部，在下面侧设有移动用脚轮(30)；以及上部箱单元(10)，从上方覆盖基板支承部所支承的基板并安装。脚轮(30)安装在框状区域，所述框状区域收容在内部的基板(2)的外形即第1四角形的内侧，且为将根据下部箱单元(20)的外形算出的前后方向的贝色点及左右方向的贝色点分别连结而形成的第2四角形的外侧。能以与基板尺寸对应的小型且简易的结构使收容的基板稳定地移动。
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公开(公告)号：CN102067036B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200980123604.2
申请日：2009-07-23
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1469 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2203/40 , C03C2203/42 , C03C2203/54 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。
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公开(公告)号：CN104271468B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201380024674.9
申请日：2013-05-10
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B65D85/48 , B65D19/44 , B65D85/86 , G03F1/66 , H01L21/673
CPC classification number: B65D19/42 , B65D19/0073 , B65D19/44 , B65D2519/00273 , B65D2519/00293 , B65D2519/00323 , B65D2519/00338 , H01L21/67353 , H01L21/67369 , H01L21/67724
Abstract: 基板箱(1)，其用于将对角尺寸超过2m的大型基板收容在内部并搬运已收容的基板。基板箱(1)，具有：下部箱单元(20)，在上面侧设有将基板的前后左右的缘部支承的基板支承部，在下面侧设有移动用脚轮(30)；以及上部箱单元(10)，从上方覆盖基板支承部所支承的基板并安装。脚轮(30)安装在框状区域，所述框状区域收容在内部的基板(2)的外形即第1四角形的内侧，且为将根据下部箱单元(20)的外形算出的前后方向的贝色点及左右方向的贝色点分别连结而形成的第2四角形的外侧。能以与基板尺寸对应的小型且简易的结构使收容的基板稳定地移动。
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公开(公告)号：CN102067036A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123604.2
申请日：2009-07-23
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1469 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2203/40 , C03C2203/42 , C03C2203/54 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。
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