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公开(公告)号：CN102067036B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200980123604.2
申请日：2009-07-23
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1469 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2203/40 , C03C2203/42 , C03C2203/54 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。
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公开(公告)号：CN101681092B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200880015374.3
申请日：2008-04-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F1/60 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70783 , C03B23/0252 , G03F1/60 , Y02P40/57
Abstract: 本发明是厚度实质上均一的光罩用基板，其具备由连续曲面构成的、待形成光罩图案的第1面、及第2面。第1面呈由相对向的第1组的边、及相对向的第2组的边构成的四边形，沿着第1组的各边的端部具有支持部。以第1面实质上呈铅直状态的方式保持光罩用基板时，将与第1面中心点处的第1面的切平面平行的参照平面，定义在对光罩用基板而言比第2面接近第1面的一侧。此时，第1面的中心点与参照平面之间的沿着厚度方向的第1距离，短于第2组的各边的中点与参照平面之间的沿着厚度方向的第2距离。
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公开(公告)号：CN102067036A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123604.2
申请日：2009-07-23
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1469 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2203/40 , C03C2203/42 , C03C2203/54 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。
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公开(公告)号：CN101681092A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880015374.3
申请日：2008-04-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F1/14 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70783 , C03B23/0252 , G03F1/60 , Y02P40/57
Abstract: 本发明是厚度实质上均一的光罩用基板，其具备由连续曲面构成的、待形成光罩图案的第1面、及第2面。第1面呈由相对向的第1组的边、及相对向的第2组的边构成的四边形，沿着第1组的各边的端部具有支持部。以第1面实质上呈铅直状态的方式保持光罩用基板时，将与第1面中心点处的第1面的切平面平行的参照平面，定义在对光罩用基板而言比第2面接近第1面的一侧。此时，第1面的中心点与参照平面之间的沿着厚度方向的第1距离，短于第2组的各边的中点与参照平面之间的沿着厚度方向的第2距离。
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