公开(公告)号：CN107255911A

公开(公告)日：2017-10-17

申请号：CN201710559593.9

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G03F7/24 ,  G03F7/20

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN107272095A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710559592.4

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20 ,  G03F7/24

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN107272095B

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201710559592.4

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20 ,  G03F7/24

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN107255911B

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201710559593.9

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G03F7/24 ,  G03F7/20

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN104885012B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201380067898.8

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G03F7/24 ,  G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/24 ,  G03F7/703

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN104885012A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201380067898.8

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G03F7/24 ,  G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/24 ,  G03F7/703

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。