公开(公告)号：CN107255911A

公开(公告)日：2017-10-17

申请号：CN201710559593.9

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G03F7/24 ,  G03F7/20

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN107272095A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201710559592.4

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20 ,  G03F7/24

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN118451317A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202180105283.4

申请日：2021-12-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 北尚宪 ,  荒井正范

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/30

Abstract: 将如下光学装置，即对在与第一方向交叉的第二方向上设置有多个在第一方向上相连的凸状部分的具有肋条结构的被检查面进行检查的光学装置构成为包括：聚光光学系统，将来自光源的光照射至被检查面上的照射区域，并对在照射区域中反射的光进行聚光；以及光接收元件，具有配置于和关于聚光光学系统而与被检查面共轭的面不同的面的光接收面，并检测基于由聚光光学系统聚光的光的强度分布。

公开(公告)号：CN107272095B

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201710559592.4

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20 ,  G03F7/24

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN107255911B

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201710559593.9

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G03F7/24 ,  G03F7/20

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN104885012B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201380067898.8

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G03F7/24 ,  G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/24 ,  G03F7/703

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。

公开(公告)号：CN104885012A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201380067898.8

申请日：2013-11-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 加藤正纪 ,  铃木哲男 ,  镰田刚忠 ,  荒井正范 ,  北纮典

IPC: G03F7/24 ,  G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G02B5/30 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/24 ,  G03F7/703

Abstract: 具备：保持反射型的光罩(M)的光罩保持筒(21)；将入射的照明光束(EL1)朝向光罩(M)反射、并且使照明光束(EL1)被光罩(M)反射而得到的投影光束(EL2)透射的分束器(PBS)；使照明光束(EL1)向分束器(PBS)入射的照明光学组件(ILM)；和将透射过了分束器(PBS)的投影光束(EL2)投影曝光至基板(P)的投影光学组件(PLM)，照明光学组件(ILM)及分束器(PBS)设于光罩(M)与投影光学组件(PLM)之间。另外，分束器(PBS)具备第1棱镜、第2棱镜和偏振膜，偏振膜(93)是将二氧化硅的第1膜体与氧化铪的第2膜体在膜厚方向层叠而成的。