公开(公告)号：CN110608177A

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201910408763.2

申请日：2019-05-16

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 桥本寿文 ,  森山伸彦

IPC: F04D19/04 ,  F04D25/06 ,  F04D29/058 ,  F04D29/059 ,  F04D27/00

Abstract: 本发明提供一种真空泵及诊断系统，能够获得用于准确地辨识滚动轴承的劣化的振动信息。涡轮分子泵(1)包括泵转子(3)、定子(21)、支撑设置有泵转子(3)的轴(10)的滚珠轴承(8)、以及检测滚珠轴承(8)的振动的加速度传感器(101)。其结果为，能够基于从加速度传感器(101)输出的振动信息，获知滚珠轴承(8)的劣化状态，从而能够适当地进行滚珠轴承(8)的维护。

公开(公告)号：CN103261698B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201180060880.6

申请日：2011-12-19

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 大藤正干 ,  桥本寿文 ,  田中晋悟

IPC: F04D19/04 ,  F04D27/00

CPC classification number: F04D27/0292 ,  F04D19/042 ,  F04D19/048 ,  F04D27/001 ,  F04D29/644

Abstract: 真空泵具备：转子，其进行旋转来进行真空排气；泵分解检测电路，其检测真空泵被分解的分解状态；泵运转禁止电路，其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，禁止转子的旋转驱动。

公开(公告)号：CN103261698A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180060880.6

申请日：2011-12-19

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 大藤正干 ,  桥本寿文 ,  田中晋悟

IPC: F04D19/04 ,  F04D27/00

CPC classification number: F04D27/0292 ,  F04D19/042 ,  F04D19/048 ,  F04D27/001 ,  F04D29/644

Abstract: 真空泵具备：转子，其进行旋转来进行真空排气；泵分解检测电路，其检测真空泵被分解的分解状态；泵运转禁止电路，其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，禁止转子的旋转驱动。

公开(公告)号：CN110608177B

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN201910408763.2

申请日：2019-05-16

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 桥本寿文 ,  森山伸彦

IPC: F04D19/04 ,  F04D25/06 ,  F04D29/058 ,  F04D29/059 ,  F04D27/00

Abstract: 本发明提供一种真空泵及诊断系统，能够获得用于准确地辨识滚动轴承的劣化的振动信息。涡轮分子泵(1)包括泵转子(3)、定子(21)、支撑设置有泵转子(3)的轴(10)的滚珠轴承(8)、以及检测滚珠轴承(8)的振动的加速度传感器(101)。其结果为，能够基于从加速度传感器(101)输出的振动信息，获知滚珠轴承(8)的劣化状态，从而能够适当地进行滚珠轴承(8)的维护。