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公开(公告)号:CN108691787A
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201810201907.2
申请日:2018-03-12
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 久野智司
CPC classification number: F04D19/042 , F04D19/044 , F04D19/048 , F04D29/083 , F04D29/644 , F16C32/0442 , F16C32/0444 , F16C2360/45 , F04D29/522
Abstract: 本发明涉及一种真空泵,可减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。本发明的构造是在从涡轮排气部(TP)导入气体的螺杆槽排气部(SP)的导入路径中,通过带六角孔的螺栓(40)将螺杆定子(22)固定于基座(20)的上表面(20c),所述带六角孔的螺栓(40)是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。本发明的真空泵能够减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。
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公开(公告)号:CN103069173B
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201180038924.5
申请日:2011-08-05
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 筒井慎吾
IPC: F04D19/04
CPC classification number: F04D19/04 , F04D19/042 , F04D19/048 , F04D29/023 , F04D29/522 , F04D29/701 , F05D2260/95 , F05D2300/171 , F05D2300/507 , F05D2300/611
Abstract: 本发明提供一种真空泵。该真空泵(1)包括:转子(30),其形成有旋转侧排气功能部(32);电机(36),其用于驱动转子(30)使该转子(30)相对于固定侧排气功能部(22)进行旋转;以及筒状的泵壳(2),其由磁性材料形成,且在该泵壳(2)的内部配置有转子(30)和固定侧排气功能部(22)。
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公开(公告)号:CN103261698B
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201180060880.6
申请日:2011-12-19
Applicant: 株式会社岛津制作所
CPC classification number: F04D27/0292 , F04D19/042 , F04D19/048 , F04D27/001 , F04D29/644
Abstract: 真空泵具备:转子,其进行旋转来进行真空排气;泵分解检测电路,其检测真空泵被分解的分解状态;泵运转禁止电路,其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下,禁止转子的旋转驱动。
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公开(公告)号:CN102425563B
公开(公告)日:2014-03-12
申请号:CN201110407350.6
申请日:2011-12-08
Applicant: 北京中科科仪股份有限公司 , 清华大学
CPC classification number: F04D27/001 , F04D19/042 , F04D19/048 , F04D27/00 , F04D29/058 , F04D29/58 , F04D29/661 , F04D29/668
Abstract: 本发明公开了一种同步抑制磁悬浮分子泵转子次临界振动的方法,通过对磁悬浮分子泵转子跌落后产生的转子次临界振动信号进行同步采样获得转子次临界振动的幅值、频率和相位,并据此输出补偿力抑制转子次临界振动。该方法实现了对次临界振动信号的准确同步,可快速实现对所述转子次临界振动的抑制。
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公开(公告)号:CN103261698A
公开(公告)日:2013-08-21
申请号:CN201180060880.6
申请日:2011-12-19
Applicant: 株式会社岛津制作所
CPC classification number: F04D27/0292 , F04D19/042 , F04D19/048 , F04D27/001 , F04D29/644
Abstract: 真空泵具备:转子,其进行旋转来进行真空排气;泵分解检测电路,其检测真空泵被分解的分解状态;泵运转禁止电路,其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下,禁止转子的旋转驱动。
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公开(公告)号:CN103827526B
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201280046410.9
申请日:2012-05-29
Applicant: 大金工业株式会社
IPC: F16C32/04 , F04D17/10 , F04D29/058
CPC classification number: H02K7/09 , F04D17/10 , F04D19/048 , F04D29/058 , F04D29/059 , F16C32/0442 , F16C32/0444 , F16C32/0451 , F16C32/0457 , F16C32/0463 , F16C32/0485 , F16C2360/44
Abstract: 设置有定子(21),向负载(Ld)变化的驱动轴13)施加多个电磁铁(24)的合成电磁力(F)。设置有控制部(30),该控制部(30)控制第一线圈电流(IU)(上侧线圈电流)与第二线圈电流(IL)(下侧线圈电流)的电流差以进行驱动轴(13)的位置控制,其中,所述第一线圈电流(IU)在产生与负载(Ld)相反方向上的电磁力的电磁铁(24)的线圈(23)中流动,所述第二线圈电流(IL)在产生与负载(Ld)相同方向的电磁力的电磁铁(24)的线圈(23)中流动。在控制部(30)中,以第二线圈电流(IL)的平均值降低的方式对第二线圈电流IL)进行逐次调节。
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公开(公告)号:CN105074222A
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201480019786.X
申请日:2014-03-19
Applicant: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
Inventor: 巴西利奥·迪尼罗 , 斯特凡·洪德特马克 , 亚历山德拉·瓦尔恰克
CPC classification number: F04D19/044 , F04D19/048 , F04D29/701 , F05D2260/607
Abstract: 为了清洁真空泵、尤其是霍尔维克泵,使待清洁的转子元件振动。这通过借助于控制装置(40)操控电磁体(38)实现,其中电磁体(38)尤其是磁轴承(16)的电磁体,其在壳体(10)中支承转子轴(12)。
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公开(公告)号:CN104379939A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201380033114.X
申请日:2013-06-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: F04D17/12 , F04D29/058
CPC classification number: F04D19/048 , F04D17/12 , F04D29/051 , F04D29/058
Abstract: 本发明涉及一种涡轮压缩机(2),其具有第一压缩机级(4)和第二压缩机级(6),所述第一压缩机级具有第一压缩机轮(8),所述第二压缩机级具有第二压缩机轮(10),其中,所述第一压缩机轮(8)和所述第二压缩机轮(10)设置在共同的轴(12)上,其中,所述轴(12)非接触地被支承。为了降低所述涡轮压缩机(2)的复杂度,将所述轴(12)的非接触式轴承(14)设置在所述第一压缩机轮(8)与所述第二压缩机轮(10)之间。
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公开(公告)号:CN103973184A
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201310671260.7
申请日:2013-12-11
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 小崎纯一郎
CPC classification number: F16C32/0457 , F04D19/042 , F04D19/048 , F04D29/058 , F16C2360/45 , H02P6/182 , H02P21/24 , H02P21/36
Abstract: 本发明提供一种真空泵用电机驱动装置及真空泵,能够缩减成本并且快速解决启动时的电机反转。一种真空泵用电机驱动装置包括:逆变器、第一运算部、电流指令设定部、驱动指令产生部和脉宽调制信号产生部。一种真空泵包括:泵转子、电机和所述的真空泵用电机驱动装置。在真空泵用电机驱动装置中,Id、Iq设定部(402)在泵启动时,当转动速度(ω)为表示正转动状态的正值时,设定加速驱动的q轴电流指令,当转动速度(ω)为表示逆转动状态的负值时,始终设定减速驱动的q轴电流指令。这样一来,通过变更以往所具备的Id、Iq设定部(402)中的处理,而使电机在逆转动时必然被减速,从而可快速转移到正常的泵启动运行。
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公开(公告)号:CN101828040B
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN200880110893.8
申请日:2008-09-19
Applicant: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
Inventor: 海因里希·恩伦德尔
CPC classification number: F04D19/042 , F04D19/048 , F04D29/321 , F04D29/644
Abstract: 本发明涉及一种用于涡轮分子泵的多级泵转子(10)。泵转子(10)具有至少两个分开的叶片盘环(17),各个叶片盘环都具有转子环(12)和至少一个叶片盘(14)。无间隙地在外侧围绕叶片盘环(17)的转子环(12)的圆筒形的增强管(18)设置在相邻的叶片盘环(17)的叶片盘(14)之间。增强管(18)吸收在操作期间产生的大部分切向力,从而泵转子(10)在高的转子速度下具有改善的稳定性。
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