公开(公告)号：CN104253073A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410302788.1

申请日：2014-06-27

Applicant: 株式会社日立国际电气

Inventor： 川崎润一 ,  船仓满

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67393 ,  B05C11/1002 ,  B05C11/1026 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775

Abstract: 本发明的目的在于通过适当地向衬底收容器内供给惰性气体，从而减轻衬底收容器内的环境气体变化对晶片的影响。提供了一种衬底处理装置(100)，包括：供给惰性气体的净化机构，设于配置衬底收容器(110)的载置部(114)和收纳架(105)中的至少一方；监视部，比较经由所述净化机构供给到所述衬底收容器(110)的惰性气体的流量与预先设定的基准值，并输出表示比较结果的信号；以及管理部，根据从所述监视部输出的所述信号，管理所述衬底收容器(110)的使用。

公开(公告)号：CN104253073B

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201410302788.1

申请日：2014-06-27

Applicant: 株式会社日立国际电气

Inventor： 川崎润一 ,  船仓满

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67393 ,  B05C11/1002 ,  B05C11/1026 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775

Abstract: 本发明的目的在于通过适当地向衬底收容器内供给惰性气体，从而减轻衬底收容器内的环境气体变化对晶片的影响。提供了一种衬底处理装置(100)，包括：供给惰性气体的净化机构，设于配置衬底收容器(110)的载置部(114)和收纳架(105)中的至少一方；监视部，比较经由所述净化机构供给到所述衬底收容器(110)的惰性气体的流量与预先设定的基准值，并输出表示比较结果的信号；以及管理部，根据从所述监视部输出的所述信号，管理所述衬底收容器(110)的使用。