公开(公告)号：CN114041013B

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202080048411.1

申请日：2020-05-14

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓

IPC: F04B43/02 ,  F04B43/04 ,  F04B45/04 ,  F04B45/047

Abstract: 本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备第一主板(20)、压电元件(30)、第二主板(40)、侧板(50)、第一膜(61)以及第二膜(62)。流体控制装置(10)的泵室(100)由被第一主板(20)、第二主板(40)以及侧板(50)围起来的空间实现。整流部用基座部件(80)配置在第一主板(20)与上述第二主板(40)之间。第一膜(61)配置于第一主板(20)且为可动部相对于固定端成为侧板(50)侧的形状。第二膜(62)配置于整流部用基座部件(80)的主面(802)，且为可动部相对于固定端成为与侧板(50)相反侧的形状。

公开(公告)号：CN116324166A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180066387.9

申请日：2021-07-13

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 川端友德 ,  田中伸拓

IPC: F04B45/047

Abstract: 本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备框体(11)。框体(11)的第一主板(20)具备：振动部(21)，供驱动体(30)配置，且在俯视观察时呈旋转对称形状；和多个开口(230)，形成于振动部(21)的外侧，使泵室(100)与外部连通。第二主板(40)具有开口(400)，该开口(400)使泵室(100)与外部连通，且在俯视观察时呈旋转对称形状。开口(400)配置为在俯视观察第一主板(20)及第二主板(40)时，包含振动部(21)的中心。开口(400)的开口面积(S400)为振动部(21)的面积(S21)的10％至75％。

公开(公告)号：CN116249834A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202180066367.1

申请日：2021-08-17

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓 ,  川端友德 ,  阿知波宽基

IPC: F04B45/047

Abstract: 本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备泵(20)和将泵(20)内包的外框体(40)。外框体(40)具备第一外壁，该第一外壁形成泵(20)的平板(21)侧的内部空间(101)，并具有使内部空间(101)与外部空间连通的贯通孔(51)。第一外壁具备：外壁主板(41)，与压电元件(30)对置；和侧板(431)，与外壁主板(41)连接，且具有贯通孔(51)。外壁主板(41)具有比第二外壁高的导热性。

公开(公告)号：CN115315320A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202180022072.4

申请日：2021-01-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓

IPC: B06B1/06 ,  F04B43/02 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/29

Abstract: 在致动器(11)的厚度方向上，相对于第1构件(20)，第1供电构件(61)与第2供电构件(62)配置于相同侧。第1供电构件(61)具备第1外部连接端子(619)。第2供电构件(62)具备第2外部连接端子(629)。第1外部连接端子(619)与第2外部连接端子(629)配置于厚度方向上的相同位置。第2绝缘层(72)配置于第2供电构件(62)与框体(22)之间。第1供电构件(61)中与第1外部连接端子(619)突出那侧相反一侧的远端侧部分(612)向框体(22)侧屈曲，并与框体(22)电连接。

公开(公告)号：CN112204255B

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN201980035000.6

申请日：2019-04-04

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓

IPC: F04B45/04 ,  F04B45/047

Abstract: 流体控制装置(10)具备：壳体(200)，具备具有第一通气口(251)的壳体顶板(220、壳体侧板(230)以及具有第二通气口(260)的壳体底板(210)；泵主体(100)；以及保持部件(300)，将泵主体(100)相对于壳体(200)进行保持。泵主体(100)具备：第一主板(110)、与第一主板(110)的一个主面对置的第二主板(120)、侧板(130)、以及配置于第一主板(110)的驱动部件(115)。第一主板(110)具有配置成圆环状的多个第一开口(101)。第二主板(120)配置在比第一主板(110)靠壳体顶板(220)侧，俯视观察时在与第一通气口(251)重叠的位置具有第二开口(102)。

公开(公告)号：CN112204256B

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN201980035882.6

申请日：2019-03-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓 ,  藤崎雅章

IPC: F04B45/04 ,  F04B45/047 ,  F16K15/14 ,  F16K15/18 ,  F16K31/02

Abstract: 泵(10)具备：平板(20)、压电元件(21)、平板(30)、侧壁(40)、支承部件(22)、支承部件(32)、遮挡板(500)、通气孔(23)、通气孔(33)、薄膜阀(61)、以及薄膜阀(62)。薄膜阀(61)配置于平板(20)与遮挡板(500)相对置的区域。薄膜阀(62)配置于平板(30)与遮挡板(500)相对置的区域。薄膜阀(61)与薄膜阀(62)中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。

公开(公告)号：CN112166251A

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN201980035476.X

申请日：2019-03-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓 ,  藤崎雅章

IPC: F04B45/04 ,  F04B45/047 ,  F16K7/17 ,  F16K15/14

Abstract: 流体控制装置(10)具备阀门(110)、泵(120)以及薄膜阀(14)。阀门(110)具备第一主板(11)、第二主板(12)以及第一侧板(13)，且具有阀室(115)。第一主板(11)具有第一通气孔(111)，第二主板(12)具有第二通气孔(121)。薄膜阀(14)配置于阀室(115)内。第一通气孔(111)位于阀室(115)的中央区域，第二通气孔(121)位于阀室(115)的外缘区域。薄膜阀(14)位于第一通气孔(111)与第二通气孔(121)之间。薄膜阀(14)在外缘区域侧的端部或者中央区域侧的端部能够振动的状态下固定于第二主板(12)。

公开(公告)号：CN109477478B

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201780045707.6

申请日：2017-07-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓 ,  近藤大辅

IPC: F04B45/047 ,  B81B3/00 ,  F16K31/02

Abstract: 阀具备第一板、侧壁板、第二板和第三板。第一板具有多个第一通气孔。第二板与第一板、侧壁板一起构成阀室。第二板具备与第一板的第一主面对置的第二主面。第二板具有多个第二通气孔。第三板具有多个第三通气孔。在沿第一板与第二板对置的方向俯视时，多个第三通气孔不与多个第二通气孔重叠而与多个第一通气孔重叠。第三板的两主面与第一板的第一主面、第二板的第二主面对置。第三板设置于阀室。在沿第一板与第二板对置的方向俯视时，第二通气孔的外周和与上述第二通气孔最为接近的第三通气孔的外周具有适配的对置缘，对置缘的第二通气孔与第三通气孔间的距离为第二通气孔的外周与第三通气孔的外周间的最短距离的1.2倍以下。

公开(公告)号：CN111492142A

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN201880081902.9

申请日：2018-12-04

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 近藤大辅 ,  和田宽昭 ,  田中伸拓 ,  横井宏之 ,  阿知波宽基 ,  竹村洋

IPC: F04B45/047 ,  F04B45/04

Abstract: 泵(1A)具备外壳(10)、限定泵室(21)的第1振动体(30)、第2振动体(40)及周壁部(50)、以及驱动体(60)。外壳(10)具有与第1振动体(30)对置的第1壁部和与第2振动体(40)对置的第2壁部。第1壁部包括：朝向第1振动体(30)侧开口并且与第1振动体(30)的包含中央部的部分对置的第1凹部(11a)；和与第1凹部(11a)相邻的第1周围部(11b)。由第1振动体(30)与第1壁部限定的第1室(80)包括由第1凹部(11a)和第1振动体(30)限定的第1宽大部(81)、和由第1周围部(11b)和第1振动体(30)限定的第1狭窄部(82)。第1狭窄部(82)形成为与第1振动体(30)的至少局部重叠。

公开(公告)号：CN108138759B

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201680058466.4

申请日：2016-10-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 田中伸拓 ,  藤崎雅章 ,  竹村洋

IPC: F04B45/047 ,  F04B45/04

Abstract: 本发明提供流体控制装置、减压装置以及加压装置。流体控制装置(1)具备：外壳(21)，其具备外壳顶板、外壳侧板以及外壳底板，设置有内部空间(59)和开口；泵(11)，其设置于将内部空间(59)分割为底板侧区域和顶板侧区域的位置，在底板侧区域与顶板侧区域之间产生流体的流动并限制流体的流动方向；以及固定部件(31)，其固定外壳(21)。而且，外壳(21)将外壳顶板或者外壳底板作为安装面(B)安装于固定部件(31)。