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公开(公告)号：CN114080470B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202080050307.6
申请日：2020-07-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明中：观测状态变量，该状态变量包含关于成膜的性能评价的至少1个物理量、以及至少1个成膜条件；根据所述状态变量，计算对所述至少1个成膜条件的决定结果的回报；根据所述回报，更新用于根据所述状态变量决定所述至少1个成膜条件的函数；通过反复进行所述函数的更新，从而决定获得所述回报最多的成膜条件；其中，所述至少1个成膜条件是关于真空排气系统的第1参数、关于加热冷却系统的第2参数、关于蒸发源系统的第3参数、关于工作台系统的第4参数、以及关于工艺气体系统的第5参数中的至少1个，所述至少1个物理量是关于皮膜的膜质特性、机械特性、以及物理特性中的至少1个。
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公开(公告)号：CN114080470A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202080050307.6
申请日：2020-07-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明中：观测状态变量，该状态变量包含关于成膜的性能评价的至少1个物理量、以及至少1个成膜条件；根据所述状态变量，计算对所述至少1个成膜条件的决定结果的回报；根据所述回报，更新用于根据所述状态变量决定所述至少1个成膜条件的函数；通过反复进行所述函数的更新，从而决定获得所述回报最多的成膜条件；其中，所述至少1个成膜条件是关于真空排气系统的第1参数、关于加热冷却系统的第2参数、关于蒸发源系统的第3参数、关于工作台系统的第4参数、以及关于工艺气体系统的第5参数中的至少1个，所述至少1个物理量是关于皮膜的膜质特性、机械特性、以及物理特性中的至少1个。
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公开(公告)号：CN111902672B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN201980023994.X
申请日：2019-03-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: F17C9/02
Abstract: 中间介质式气化器（10）具备：中间介质蒸发部（E1），借助加温介质与中间介质之间的热交换，使中间介质蒸发；以及热交换部（14），由层叠有第1流路层和第2流路层的结构的层叠型热交换器构成。第1流路层具有中间介质流路部和加温介质流路部，在中间介质蒸发部（E1）蒸发的中间介质流入所述中间介质流路部，加温介质流入所述加温介质流路部。第2流路层具有液化气流路部和气体加温流路部，所述液化气流路部构成为液化气流入，并且液化气在所述液化气流路部中被在中间介质流路部中流动的中间介质加热而液化气的至少一部分蒸发，在液化气流路部蒸发的气体在所述气体加温流路部中被在加温介质流路部中流动的加温介质加温。
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公开(公告)号：CN111902672A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201980023994.X
申请日：2019-03-20
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: F17C9/02
Abstract: 中间介质式气化器（10）具备：中间介质蒸发部（E1），借助加温介质与中间介质之间的热交换，使中间介质蒸发；以及热交换部（14），由层叠有第1流路层和第2流路层的结构的层叠型热交换器构成。第1流路层具有中间介质流路部和加温介质流路部，在中间介质蒸发部（E1）蒸发的中间介质流入所述中间介质流路部，加温介质流入所述加温介质流路部。第2流路层具有液化气流路部和气体加温流路部，所述液化气流路部构成为液化气流入，并且液化气在所述液化气流路部中被在中间介质流路部中流动的中间介质加热而液化气的至少一部分蒸发，在液化气流路部蒸发的气体在所述气体加温流路部中被在加温介质流路部中流动的加温介质加温。
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