公开(公告)号：CN1480993A

公开(公告)日：2004-03-10

申请号：CN03152641.1

申请日：2003-08-04

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 渡边克充 ,  石井孝彦 ,  猿丸正悟 ,  山根秀士

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67751 ,  B30B11/001 ,  B30B11/002 ,  H01L21/67126 ,  Y10T83/9387 ,  Y10T83/9423

Abstract: 提供了一种用于将压力介质供给到高压处理腔(4)中的高压处理设备，该高压处理腔形成在压力容器(1)中以便处理工件。该压力容器包括可轴向彼此分离的第一容器部(2)和第二容器部(3)，其中高压处理腔形成于第一容器部和第二容器部之间。另外，用于紧密密封高压处理腔的端面密封部(5)邻接第一容器部和第二容器部而形成。设置有用于向该端面密封部提供轴向力的压力机设备(7)，并且该压力机设备在对应于压力容器的轴向中心的位置处具有用于放置例如搅动器等的辅助设备的空间。这种构形实现了这样一种端面密封形式的高压处理设备，例如搅动器等的辅助设备安装在该高压处理设备上。

公开(公告)号：CN1237583C

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN03152641.1

申请日：2003-08-04

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 渡边克充 ,  石井孝彦 ,  猿丸正悟 ,  山根秀士

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67751 ,  B30B11/001 ,  B30B11/002 ,  H01L21/67126 ,  Y10T83/9387 ,  Y10T83/9423

Abstract: 提供了一种用于将压力介质供给到高压处理腔(4)中的高压处理设备，该高压处理腔形成在压力容器(1)中以便处理工件。该压力容器包括可轴向彼此分离的第一容器部(2)和第二容器部(3)，其中高压处理腔形成于第一容器部和第二容器部之间。另外，用于紧密密封高压处理腔的端面密封部(5)邻接第一容器部和第二容器部而形成。设置有用于向该端面密封部提供轴向力的压力机设备(7)，并且该压力机设备在对应于压力容器的轴向中心的位置处具有用于放置例如搅动器等的辅助设备的空间。这种构形实现了这样一种端面密封形式的高压处理设备，例如搅动器等的辅助设备安装在该高压处理设备上。