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公开(公告)号：CN1501439A
公开(公告)日：2004-06-02
申请号：CN200310103884.5
申请日：2003-11-18
Applicant: 大日本网目版制造株式会社 , 株式会社神户制钢所
IPC: H01L21/00 , H01L21/302 , B08B3/00
CPC classification number: H01L21/67051 , G11B7/261 , G11B7/265 , H01L21/67028 , Y10S134/902
Abstract: 本发明提供一种基板处理方法、基板处理装置和基板处理系统。可使基板无损坏地顺利实行由湿式处理到干燥处理一系列处理。在显像处理单元(10A、10B)中对基板W顺序进行显像处理、冲洗处理和置换处理后，在该基板(W)由干燥防止液润湿的状态下，由主自动输送装置(30)湿式输送到超临界干燥单元(20)。由此超临界干燥单元(20)单独进行高压干燥处理(超临界干燥处理)。因此，不用限定显像处理可用的显像液种类，不会产生超临界干燥单元(20)的压力容器(202)内的腐蚀等问题，就可进行由显像处理到高压干燥处理的一系列处理。由于干燥防止液的存在，还具有防止基板(W)输送中基板(W)自然干燥的效果。
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公开(公告)号：CN1551296A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN200410038697.8
申请日：2004-05-12
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01L21/00 , H01L21/302
CPC classification number: B08B7/0021 , B08B3/10
Abstract: 通过至少使与氟化氢接触的部分的表面用Cr含量是预定量的Fe基合金或Ni基合金制成，可以明显改善利用高压流体的清洁装置对氟化氢的耐蚀性。使用该清洁装置时，即使用含氟化氢的高压流体进行清洁，该装置也具有优异的耐久性，并且不会出现使作为待清洁物体的微细结构损坏的金属洗脱问题。
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公开(公告)号：CN1480993A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN03152641.1
申请日：2003-08-04
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01L21/304 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67751 , B30B11/001 , B30B11/002 , H01L21/67126 , Y10T83/9387 , Y10T83/9423
Abstract: 提供了一种用于将压力介质供给到高压处理腔(4)中的高压处理设备，该高压处理腔形成在压力容器(1)中以便处理工件。该压力容器包括可轴向彼此分离的第一容器部(2)和第二容器部(3)，其中高压处理腔形成于第一容器部和第二容器部之间。另外，用于紧密密封高压处理腔的端面密封部(5)邻接第一容器部和第二容器部而形成。设置有用于向该端面密封部提供轴向力的压力机设备(7)，并且该压力机设备在对应于压力容器的轴向中心的位置处具有用于放置例如搅动器等的辅助设备的空间。这种构形实现了这样一种端面密封形式的高压处理设备，例如搅动器等的辅助设备安装在该高压处理设备上。
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公开(公告)号：CN1136012A
公开(公告)日：1996-11-20
申请号：CN95121884.0
申请日：1995-12-05
Applicant: 株式会社神户制钢所
Inventor： 猿丸正悟
CPC classification number: B29D30/0603
Abstract: 在朝向各金属模可自由回转且可自由升降的吊臂的前端，通过高度可调整的连结部装设轮胎夹持装置，构成了装载机或卸载机。具体地说，在轮胎硫化机的内侧及外侧间可自由升降地回转的吊臂和轮胎夹持装置的连结部上，设置螺旋结构，使固定在吊臂上的螺纹部件与在轮胎夹持装置的端部形成的内螺纹孔贯通部螺旋结合，通过旋转该螺纹部件，可简单地调节轮胎夹持装置的高度。
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公开(公告)号：CN104769407A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201380058807.4
申请日：2013-11-08
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G01M17/022 , G01M17/024
Abstract: 在将负荷转鼓(4)推压至轮胎(T)的基础上，测量轮胎(T)的均匀性波形和负荷转鼓(4)的旋转相位。在对均匀性波形进行频率变换后得到的频率区域的波形中，求取负荷转鼓(4)的转速的整数倍数分量处的振幅以及相位，作为校正参数来存储。通过从均匀性波形中减去基于该校正参数计算出的轮胎测量时的负荷转鼓(4)的旋转相位范围中的校正波形，从而计算出被校正后的轮胎(T)的均匀性波形。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102341688B
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201080010273.4
申请日：2010-03-02
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G01M17/022
Abstract: 本发明的目的在于高精度地计量轮胎的滚动阻力。本发明的装置(1)通过在环状的行驶模拟路面(2)推压轮胎T来测定滚动阻力Fx。装置(1)具有：滑架(4)，其在一端侧搭载旋转自如地保持轮胎T的轮胎主轴(8)；加负载架台(5)，其以将滑架(4)的另一端侧绕与轮胎的旋转轴平行的摆动轴摆动自如地连结，同时所述摆动轴的轴心位于连结轮胎T相对于行驶模拟路面(2)的接地点和轮胎T的旋转中心的延长线上的方式使滑架(4)向行驶模拟路面(2)侧移动，向轮胎T施加负载；推压负载计量部(12)，其计量从加负载架台(5)向轮胎T施加的负载；滚动阻力计量部(10)，其根据沿轮胎T的切线方向向滑架(4)施加的力计量滚动阻力。滚动阻力计量部(10)可沿加负载架台(5)的移动方向移动。
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公开(公告)号：CN1237583C
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN03152641.1
申请日：2003-08-04
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01L21/304 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67751 , B30B11/001 , B30B11/002 , H01L21/67126 , Y10T83/9387 , Y10T83/9423
Abstract: 提供了一种用于将压力介质供给到高压处理腔(4)中的高压处理设备，该高压处理腔形成在压力容器(1)中以便处理工件。该压力容器包括可轴向彼此分离的第一容器部(2)和第二容器部(3)，其中高压处理腔形成于第一容器部和第二容器部之间。另外，用于紧密密封高压处理腔的端面密封部(5)邻接第一容器部和第二容器部而形成。设置有用于向该端面密封部提供轴向力的压力机设备(7)，并且该压力机设备在对应于压力容器的轴向中心的位置处具有用于放置例如搅动器等的辅助设备的空间。这种构形实现了这样一种端面密封形式的高压处理设备，例如搅动器等的辅助设备安装在该高压处理设备上。
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公开(公告)号：CN104769407B
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201380058807.4
申请日：2013-11-08
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G01M17/022 , G01M17/024
Abstract: 在将负荷转鼓(4)推压至轮胎(T)的基础上，测量轮胎(T)的均匀性波形和负荷转鼓(4)的旋转相位。在对均匀性波形进行频率变换后得到的频域的波形中，求取负荷转鼓(4)的转速的整数倍数分量处的振幅以及相位，作为校正参数来存储。通过从均匀性波形中减去基于该校正参数计算出的轮胎测量时的负荷转鼓(4)的旋转相位范围中的校正波形，从而计算出被校正后的轮胎(T)的均匀性波形。
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公开(公告)号：CN103261870B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201180060446.8
申请日：2011-12-13
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G01M17/021
Abstract: 有效地抑制由于分离力导致的上卡盘的旋转轴相对于下卡盘的旋转轴的错位。轮胎试验装置（1）包含下述部件等：铅直框架（30a、30b），被下框架（20）支承；梁（40），被架设于铅直框架（30a、30b）之间能够沿铅直方向移动；上卡盘（45），被安装于梁（40）的长度方向中央；下卡盘（25），被安装于下框架，从铅直方向观察，使上旋转部件（47）的旋转轴位于连结各铅直框架（30a、30b）分别支承梁（40）的支承点的直线的中央。
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