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公开(公告)号:CN102192713A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN201110035060.3
申请日:2011-01-30
Applicant: 株式会社神户制钢所
Abstract: 本发明提供一种外观检查装置,其正确且高速地算出太阳电晶片的三维形状。第一及第二形状算出部(24、34)根据通过拍摄部(20)以规定的帧频连续地拍摄到的多幅的光切断线图像的图像数据而算出晶片(50)的表面的三维形状数据。在此,第一形状算出部(24)在相机(21~23)对当前帧的光切断线图像进行拍摄的期间,在对之前一帧进行搜索处理,同时对之前第二帧的光切断线图像进行重心算出处理。
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