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发明公开
废气的无害化装置审中-实审

公开(公告)号：CN116328504A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202211650442.1

申请日：2022-12-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中村谕 , 宫崎一知 , 江田健

IPC: B01D53/18 , F23G7/06 , C23C16/44 , C23C16/455

Abstract: 提供可用比以往少的湿式处理装置处理废气的无害化装置。无害化装置具备：前段湿式处理装置(5)；燃烧式处理装置(6)；与成膜装置(1)的工艺腔室(2A～2D)连接的气体导入线路(7A～7D)；与气体导入线路分别连接的第一流路切换装置(8A～8D)；从第一流路切换装置延伸至前段湿式处理装置的第一气体输送线路(9A～9D)；从第一流路切换装置延伸至燃烧式处理装置的第二气体输送线路(10A～10D)；以及动作控制部(15)，其控制第一流路切换装置的动作，向前段湿式处理装置输送工艺气体，并向燃烧式处理装置输送清洁气体。前段湿式处理装置的数量比多个工艺腔室少。

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