公开(公告)号：CN108691769A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810321818.1

申请日：2018-04-11

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 林介元 ,  岩崎弘一 ,  大须贺透 ,  石井勇次 ,  河嶌浩康 ,  岛田圣二

IPC: F04C28/06 ,  F04C25/02 ,  F04C23/02

CPC classification number: F04C25/02 ,  F04C23/001 ,  F04C28/06 ,  F04C28/28 ,  F04C2220/12 ,  F04C2240/403 ,  F04C2270/07 ,  F04C2270/86 ,  F04C23/02

Abstract: 本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置(1)具备主泵(10)和增压泵(20)。各泵具备进气口(11a、21a)和排气口(11b、21b)。主泵(10)的进气口(11a)与增压泵(20)的排气口(21b)连通。开关接受用于使主泵(10)启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵10启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵20，进而启动增压泵20。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。

公开(公告)号：CN108691769B

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN201810321818.1

申请日：2018-04-11

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 林介元 ,  岩崎弘一 ,  大须贺透 ,  石井勇次 ,  河嶌浩康 ,  岛田圣二

IPC: F04C28/06 ,  F04C25/02 ,  F04C23/02

Abstract: 本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置具备主泵和增压泵。主泵和增压泵分别具备进气口和排气口。主泵的进气口与增压泵的排气口连通。开关接受用于使主泵启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵，进而启动增压泵。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。