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公开(公告)号：CN114109799A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111448722.X
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , F04C28/28 , F04D27/00 , G06F17/18 , G05B19/418
Abstract: 一种信息处理装置及信息处理方法，信息处理装置具有比较部，该比较部参照存储部，对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较，并输出比较结果，所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。
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公开(公告)号：CN114109799B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202111448722.X
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , F04C28/28 , F04D27/00 , G06F17/18 , G05B19/418
Abstract: 一种信息处理装置及信息处理方法，信息处理装置具有比较部，该比较部参照存储部，对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较，并输出比较结果，所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。
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公开(公告)号：CN110050125B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880004933.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , G05B19/418
Abstract: 本发明具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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公开(公告)号：CN114109832A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111445458.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种信息处理装置，具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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公开(公告)号：CN108691769A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810321818.1
申请日：2018-04-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C25/02 , F04C23/001 , F04C28/06 , F04C28/28 , F04C2220/12 , F04C2240/403 , F04C2270/07 , F04C2270/86 , F04C23/02
Abstract: 本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置(1)具备主泵(10)和增压泵(20)。各泵具备进气口(11a、21a)和排气口(11b、21b)。主泵(10)的进气口(11a)与增压泵(20)的排气口(21b)连通。开关接受用于使主泵(10)启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵10启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵20，进而启动增压泵20。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114151343B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111445710.1
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G05B19/042 , F04C28/28
Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法，信息处理装置具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较，比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。
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公开(公告)号：CN110985884A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201910921810.3
申请日：2019-09-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空排气系统，其在对内部存在大气压的气体的处理腔室进行抽真空时，能够抑制其他处理腔室中的压力上升。真空排气系统(1)能够用于从处理腔室(PC1、PC2、PC3)排出处理气体。真空排气系统(1)具备多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)、分别与多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)连结的多个缓冲罐(T1、T2、T3)、第二真空泵(MP)、使多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)与第二真空泵(MP)连通的集合管(20)。
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公开(公告)号：CN114109832B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202111445458.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种信息处理装置，具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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公开(公告)号：CN114151343A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111445710.1
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04C28/28 , G05B19/042
Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法，信息处理装置具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较，比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。
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公开(公告)号：CN108691769B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201810321818.1
申请日：2018-04-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置具备主泵和增压泵。主泵和增压泵分别具备进气口和排气口。主泵的进气口与增压泵的排气口连通。开关接受用于使主泵启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵，进而启动增压泵。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。
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