公开(公告)号：CN106067435B

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN201610251284.0

申请日：2016-04-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小松三教 ,  丸山徹 ,  矶野佳宣 ,  柳博明

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供一种具备可检测基板破裂、欠缺等异常的检测部的基板处理装置。另外，提供一种基板破裂等的异常的检测方法。该基板处理装置具备：研磨基板的研磨单元(3A～3D)；清洗研磨后的基板的清洗单元(73、74)；检测基板异常的基板异常检测部(40)；及将基板依次搬送至研磨单元(3A～3D)、基板异常检测部40)及清洗单元(73、74)的基板搬送机构(6、12、77)；基板异常检测部(40)具有：拍摄基板的摄像设备(42)；及将从摄像设备(42)获得的信号与规定阈值进行比较，来判断基板状态的输出监视部(45)。

公开(公告)号：CN106067435A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610251284.0

申请日：2016-04-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小松三教 ,  丸山徹 ,  矶野佳宣 ,  柳博明

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67288 ,  B24B37/0053 ,  B24B37/345 ,  H01L21/67219 ,  H01L22/12 ,  H01L21/67092 ,  H01L22/34

Abstract: 本发明提供一种具备可检测基板破裂、欠缺等异常的检测部的基板处理装置。另外，提供一种基板破裂等的异常的检测方法。该基板处理装置具备：研磨基板的研磨单元(3A～3D)；清洗研磨后的基板的清洗单元(73、74)；检测基板异常的基板异常检测部(40)；及将基板依次搬送至研磨单元(3A～3D)、基板异常检测部40)及清洗单元(73、74)的基板搬送机构(6、12、77)；基板异常检测部(40)具有：拍摄基板的摄像设备(42)；及将从摄像设备(42)获得的信号与规定阈值进行比较，来判断基板状态的输出监视部(45)。