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公开(公告)号：CN102859639B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201180009239.X
申请日：2011-02-07
Applicant: 欧瑞康先进科技股份公司
Inventor： J·魏夏特
IPC: H01J37/34
CPC classification number: H01J37/3408 , H01J37/3455
Abstract: 一种磁控管源包括一具有溅镀面及背面的靶材(39)。以驱动方式沿着该靶材(39)的背面移动一磁铁配置(30、32、19a、19b)。在该磁铁配置的一外环路(30)与一内环路(32)之间产生一隧道状磁控管磁场。在该整体配置的外及内环路(30、32)之间的中间空间中提供该磁铁配置的狭长可枢转或可旋转永久磁铁配置(19a、19b)。
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