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公开(公告)号：CN119901754A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202510345084.0
申请日：2025-03-24
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01N21/95 , G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/096 , G06N3/045
Abstract: 本发明公开一种基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括：双光梳光源模块、空间编码照明模块、时间编程控制模块、信号采集处理模块及数据分析处理模块，数据分析处理模块接收待测晶圆表面的复原三维形貌信息并进行分析，提取缺陷相关特征，建立光谱特征与缺陷之间的映射关系，对晶圆表面缺陷进行识别得到相应的缺陷种类和位置信息。本发明采用基于双光梳时空编码的晶圆缺陷检测技术，利用双光梳干涉技术实现快速扫描和并行探测，大幅提高检测效率，本发明能够获得晶圆表面的绝对距离信息，将此结果反馈给精密气浮运动平台可以省去自动对焦光路系统及反馈控制部分，提高检测效率，降低整个晶圆检测系统的体积、复杂度和成本。
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公开(公告)号：CN118759731A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411049360.0
申请日：2024-08-01
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非相干光照明的合成孔径超分辨望远镜的成像系统和方法，包括用于对目标物实现照明的非相干光源，用于对望远镜接收的光场信号进行滤波的多通道窄带滤光片和小孔，用于收集成像信号的望远光学系统，用于确定望远镜位置的望远镜定位系统，用于移动望远镜的位移平台，用于记录望远光学系统的成像信号的光学相机，用于图像的存储、重构和显示的计算系统。位移平台负载望远光学系统、多通道窄带滤光片、小孔、望远镜定位系统、光学相机和计算系统。该技术方案能够避免传统相干合成孔径成像只能获取单一波长的高分辨信息，还能提升超分辨成像的光子利用率和信噪比。
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公开(公告)号：CN114018873B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202111319271.X
申请日：2021-11-09
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种大视场快速高分辨的光学内窥显微方法，所涉及整个系统包括光源、光学透镜、二维色散元件、孔径光阑、分束镜、探测器等，其中，二维色散元件、光纤和微型光学透镜被集成在光学内窥镜头端，该光源通过光频梳芯片的调制，出射光为光学电磁频域离散的光谱信号，进一步，所述电磁频域离散光谱信号通过二维色散元件，生成空间二维分布的共聚焦照明光斑阵列，并被用于对被观测样品进行二维共焦照明成像，结合锁模与干涉增强技术，通过对所获取样品表面信息干涉信息的傅里叶解析，得到被观测样品表面高分辨强度图像和相位信息，本发明所提方法借助飞秒脉冲光的超快特性，可以实现对被观测样品表面像的视频级成像。
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公开(公告)号：CN117723510A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311717523.3
申请日：2023-12-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/49 , G01N21/552 , G01N21/01 , G01N21/21 , G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种选择性增强微纳样本无标记检测的超构表面薄膜芯片和系统，其中，超构表面薄膜芯片包括衬底、设于衬底表面的超构表面薄膜；超构表面薄膜为由纵向周期性金属薄膜与非金属薄膜组成的双曲超构表面，且金属薄膜与衬底表面接触，超构表面薄膜厚度都远小于照明光的波长；从衬底下表面入射的照明光在衬底与金属薄膜表面生成表面等离激元，通过超构表面薄膜对与样本尺寸对应波矢的表面等离激元选择性增强传输后，对超构表面薄膜上方对应尺寸的微纳样本进行照明，微纳样本与增强后的特定波矢表面等离激元相互作用发出散射光，将微纳样本的高频信息增强传输并被探测接收，这样能够实现对应尺寸微纳样本的选择性增强检测。
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公开(公告)号：CN112326665B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202011039692.2
申请日：2020-09-28
Abstract: 本发明公开了一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统，包括光源、显微物镜、管镜、图像探测器、控制模块和数据处理模块，其中，光源包括垂直照明光源和倾斜照明单元。垂直照明光源和各倾斜照明单元的出射光能够照射到被观测样品上而激发出散射场，散射场经显微物镜收集后再经管镜整形而入射到图像探测器，并由数据处理模块转换成远场强度图。控制模块按时序控制各光源的点亮以及各光源照明下图像探测器对被观测样品散射场信号的采集。数据处理模块通过对被观测样品空间频谱信息的重构，最终实现无论是在透射式照明还是反射式照明条件下，被观测样品表面复杂缺陷特征轮廓信息和细节特征信息的检测成像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117224065A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311194084.2
申请日：2023-09-15
IPC: A61B1/00
Abstract: 本发明属于内窥镜技术领域，具体涉及一种电子内窥镜变焦机构，包括操作扳手组件、连杆滑块组件、底板组件、固定组件、限位组件、调节组件和变焦拉丝组件，连杆滑块组件的连杆与操作扳手组件连接，连杆滑块组件的滑块滑动连接在底板组件上；变焦拉丝组件包括变焦拉丝、拉丝护套和两个刚性的支撑套，支撑套静连接在拉丝护套的两端，支撑套和拉丝护套同轴，变焦拉丝轴向贯穿拉丝护套和支撑套，拉丝护套由内到外包括聚四氟乙烯层、钢丝编织层、热缩护套层。本发明有效解决了内窥镜的成像物镜在内窥镜弯曲后无法快速找准焦点的问题，无论内窥镜弯曲程度如何，操作人员只需要推拉扳手，即可快速找准近焦或者远焦位置，或者实现近焦和远焦的切换。
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公开(公告)号：CN116807362A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310502118.3
申请日：2023-04-28
Abstract: 一种立体高清腹腔镜的镜体结构，包括腹腔镜壳体和连接在腹腔镜壳体上的镜管，镜管内设有双目镜组，所述腹腔镜壳体内设有成像组件，成像组件包括分离可见光和近红外光的分光棱镜、承接近红外荧光图像的较大靶面CMOS、承接可见光成像的较小靶面CMOS，较大靶面CMOS和较小靶面CMOS均与电路板电连接；分光棱镜、较大靶面CMOS、较小靶面CMOS和分光棱镜固定座形成分光结构；分光结构设置在姿态调整机构上，姿态调整机构能调整成像组件相对于双目镜组的自由度。本发明还提供一种立体高清腹腔镜的镜体结构的调整方法。本发明能实现成像组件相对于双目镜组6个自由度的精密调整，以补偿镜体零件加工与组件装配过程的误差，通过便捷的方法快速实现3D4K腹腔镜的装配与测试。
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公开(公告)号：CN116563299B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202310852571.7
申请日：2023-07-12
Abstract: 本申请涉及一种医学图像筛选方法、装置、电子装置和存储介质，其中，该医学图像筛选方法包括：获取多个医学图像；基于每一医学图像中预设位置的像素值，确定每一医学图像的图像质量参数；确定每一医学图像中的目标对象的面积参数；基于多个医学图像的图像质量参数以及多个医学图像中目标对象的面积参数，从多个医学图像中筛选出目标医学图像。通过本申请，解决了医学图像清晰度低的问题，提高了医学图像的清晰度。
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公开(公告)号：CN115951487A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211540944.9
申请日：2022-12-02
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多波长点阵并行照明的移频超分辨显微成像系统及方法，属于超分辨显微领域。系统中的照明模块包括位于第一物镜后焦面上的多波长点光源阵列和第一物镜，多波长点光源阵列上的各处点光源具有不同波长且能够同时照明；探测模块包括第二物镜、分光器件、筒镜和成像相机；分光器件在第二物镜后方设有若干个，用于将散射光中不同波长成分离散到不同探测光路上通过筒镜和成像相机实现不同移频图像的并行探测。本发明将FPM移频成像技术的照明方案从单波长光源阵列依次照明拓展至多波长光源阵列并行照明，并相应的在探测端引入多路成像相机实现移频图像的并行采集，最终在不牺牲成像分辨率的情况下，将FPM的成像速度提升了数十倍。
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公开(公告)号：CN115903331A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211409763.2
申请日：2022-11-10
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于非线性倏逝场的深移频超分辨显微芯片及其成像方法，属于移频超分辨显微成像领域。深移频超分辨成像芯片包括由下至上依次堆叠设置的衬底层、非线性光学材料膜层、表面等离激元膜系和微结构层；表面等离激元膜系和微结构层的中央区域整体贯穿开设有多边形孔槽，暴露出的部分非线性光学材料膜层作为成像样品放置区；环绕多边形孔槽，微结构层的上表面刻设有若干组微结构。本发明利用非线性四波混频效应激发、调控和增强超大波矢倏逝场并应用于移频超分辨成像，解决了天然波导材料提供的倏逝场波矢有限且波矢越大信号较弱的问题，可在保证成像质量的前提下突破现有线性移频超分辨成像技术的分辨率上限。
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