公开(公告)号：CN105658413B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201480056987.7

申请日：2014-08-29

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 尹成圆 ,  朴相天 ,  广岛洋 ,  高木秀树 ,  铃木健太

IPC: B29C59/02 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C59/022 ,  B29C35/0805 ,  B29C43/021 ,  B29C43/52 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2043/025 ,  B29C2059/023 ,  B29K2079/08 ,  C08L79/08 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0387

Abstract: 提供与光刻法及激光加工等以往的聚酰亚胺加工技术相比，加工形状及其尺寸精度优异、且简便的聚酰亚胺的图案形成方法。在聚酰亚胺的精细图案形成中，作为聚酰亚胺，使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶性的聚酰亚胺树脂组合物，并利用热压印法而图案化，并在热固化的方法中，在成形工序后从模具脱模之后，照射紫外线。

公开(公告)号：CN105658413A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201480056987.7

申请日：2014-08-29

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 尹成圆 ,  朴相天 ,  广岛洋 ,  高木秀树 ,  铃木健太

IPC: B29C59/02 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C59/022 ,  B29C35/0805 ,  B29C43/021 ,  B29C43/52 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2043/025 ,  B29C2059/023 ,  B29K2079/08 ,  C08L79/08 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0387

Abstract: 提供与光刻法及激光加工等以往的聚酰亚胺加工技术相比，加工形状及其尺寸精度优异、且简便的聚酰亚胺的图案形成方法。在聚酰亚胺的精细图案形成中，作为聚酰亚胺，使用具有感光性的、能够在玻璃转变温度以下成形的溶剂可溶性的聚酰亚胺树脂组合物，并利用热压印法而图案化，并在热固化的方法中，在成形工序后从模具脱模之后，照射紫外线。