公开(公告)号：CN101180516B

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200580049895.7

申请日：2005-05-24

Applicant: 独立行政法人宇宙航空研究开发机构

Inventor： 三田信 ,  斋藤宏文 ,  年吉洋

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/574 ,  Y10T74/1282

Abstract: 本发明提供一种小型且高性能的陀螺仪及其制造方法。陀螺仪(10)包括：外框(11)；配置于外框内的、且被支承成可朝一方向移动的内框(12)；配置于内框内、且被支承成可向与上述一方向垂直的方向移动的多个检测用质量块(15)；将外框与上述内框结合的多个外侧支承弹簧(13)；将内框与各个上述检测用质量块结合的多个内侧支承弹簧(14)；用于对各个检测用质量块加速的驱动器(16)；用于检测内框的位移的检测器(17)。由驱动器使多个检测用质量块以相同相位振动，使由于检测用质量块的振动分别产生的哥氏力在内框合并。

公开(公告)号：CN101180516A

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：CN200580049895.7

申请日：2005-05-24

Applicant: 独立行政法人宇宙航空研究开发机构

Inventor： 三田信 ,  斋藤宏文 ,  年吉洋

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01C19/574 ,  Y10T74/1282

Abstract: 本发明提供一种小型且高性能的陀螺仪及其制造方法。陀螺仪(10)包括：外框(11)；配置于外框内的、且被支承成可朝一方向移动的内框(12)；配置于内框内、且被支承成可向与上述一方向垂直的方向移动的多个检测用质量块(15)；将外框与上述内框结合的多个外侧支承弹簧(13)；将内框与各个上述检测用质量块结合的多个内侧支承弹簧(14)；用于对各个检测用质量块加速的驱动器(16)；用于检测内框的位移的检测器(17)。由驱动器使多个检测用质量块以相同相位振动，使由于检测用质量块的振动分别产生的哥氏力在内框合并。