照明装置和检查装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109115799A

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201810671501.0

    申请日:2018-06-26

    CPC classification number: G01N21/95 G01N21/01

    Abstract: 廉价提供一种能够对R/B均匀照射的照明装置和使用该照明装置的检查装置。在检查台(3)搭载R/B(2),R/B(2)与扩散板(51)对置配置。被形成为长条状的LED条(52)、(52)在短边方向并列配置,并且与扩散板(51)平行配置。一对LED条(52)、(52)向平板状的扩散板(51)照射光,利用被扩散板(51)反射后的光对R/B(2)进行照明。配置在扩散板(51)与检查台(3)之间的照相机(6)对R/B(2)进行拍摄。

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