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公开(公告)号：CN1253698C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN02800904.5
申请日：2002-02-01
Applicant: 索尼公司 , 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明是光发射接收复合单元(1)，通过将光源(3)、用于将返向单元的回射光分为多个光束的光分路部(4)、根据回射光的偏振状态增减透光量的偏振部(5)以及包含用于探测经过偏振部(5)的光的多个光探测部(6_1至6_4)的光接收部(6)进行封装，形成了一体化结构。作为在该单元(1)外部的外部光学系统ET，配置了包含反射型衍射光栅RG的被检测部；使从单元(1)出射的光向反射型衍射光栅RG反射的反射构件(R1a、R1b)；接受由反射型衍射光栅RG产生的衍射光、改变其偏振状态的偏振构件(WP1a、WP1b)；以及用于反射通过各偏振构件的光、使其沿反方向返回的反射构件(R2a、R2b)，构成了光栅干涉型位移检测装置。
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公开(公告)号：CN1453557A
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：CN03128478.7
申请日：2003-04-28
Applicant: 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明涉及一种光接收/发射复合单元、其制造方法以及位移探测装置，其中的位移探测装置具有良好的时间稳定性，并且适于减小尺寸和重量，包括：光源，用于发射光束；偏振分束单元，用于将从光源发出的光束分解成具有不同偏振成分的两束光束，将这两束光束射向一外部光学系统，并将从该外部光学系统反射的两束光束加以组合以产生组合光束；相位板，设置在光源与偏振分束单元之间，用以改变从光源发出光束的偏振状态并将该光束射向偏振分束单元；分束薄膜，用于将由偏振分束单元产生的组合光束分解成多个光束；偏振单元，用于仅透射所分解组合光束的预定偏振成分；和光接收元件，用于对透过偏振单元的相干光束进行光电转换，从而产生一干涉信号。
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公开(公告)号：CN100462670C
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN03128478.7
申请日：2003-04-28
Applicant: 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明涉及一种光接收/发射复合单元、其制造方法以及位移探测装置，其中的位移探测装置具有良好的时间稳定性，并且适于减小尺寸和重量，包括：光源，用于发射光束；偏振分束单元，用于将从光源发出的光束分解成具有不同偏振成分的两束光束，将这两束光束射向一外部光学系统，并将从该外部光学系统反射的两束光束加以组合以产生组合光束；相位板，设置在光源与偏振分束单元之间，用以改变从光源发出光束的偏振状态并将该光束射向偏振分束单元；分束薄膜，用于将由偏振分束单元产生的组合光束分解成多个光束；偏振单元，用于仅透射所分解组合光束的预定偏振成分；和光接收元件，用于对透过偏振单元的相干光束进行光电转换，从而产生一干涉信号。
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公开(公告)号：CN1460174A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN02800904.5
申请日：2002-02-01
Applicant: 索尼公司 , 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明是光发射接收复合单元(1)，通过将光源(3)、用于将返向单元的回射光分为多个光束的光分路部(4)、根据回射光的偏振状态增减透光量的偏振部(5)以及包含用于探测经过偏振部(5)的光的多个光探测部(6－1至6－4)的光接收部(6)进行封装，形成了一体化结构。作为在该单元(1)外部的外部光学系统ET，配置了包含反射型衍射光栅RG的被检测部；使从单元(1)出射的光向反射型衍射光栅RG反射的反射构件(R1a、R1b)；接受由反射型衍射光栅RG产生的衍射光、改变其偏振状态的偏振构件(WP1a、WP1b)；以及用于反射通过各偏振构件的光、使其沿反方向返回的反射构件(R2a、R2b)，构成了光栅干涉型位移检测装置。
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