公开(公告)号：CN100462670C

公开(公告)日：2009-02-18

申请号：CN03128478.7

申请日：2003-04-28

Applicant: 索尼精密技术株式会社

Inventor： 田宮英明 ,  谷口佳代子 ,  黑田明博 ,  久米英廣

IPC: G01B11/04 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01D5/38

Abstract: 本发明涉及一种光接收/发射复合单元、其制造方法以及位移探测装置，其中的位移探测装置具有良好的时间稳定性，并且适于减小尺寸和重量，包括：光源，用于发射光束；偏振分束单元，用于将从光源发出的光束分解成具有不同偏振成分的两束光束，将这两束光束射向一外部光学系统，并将从该外部光学系统反射的两束光束加以组合以产生组合光束；相位板，设置在光源与偏振分束单元之间，用以改变从光源发出光束的偏振状态并将该光束射向偏振分束单元；分束薄膜，用于将由偏振分束单元产生的组合光束分解成多个光束；偏振单元，用于仅透射所分解组合光束的预定偏振成分；和光接收元件，用于对透过偏振单元的相干光束进行光电转换，从而产生一干涉信号。

公开(公告)号：CN1453557A

公开(公告)日：2003-11-05

申请号：CN03128478.7

申请日：2003-04-28

Applicant: 索尼精密技术株式会社

Inventor： 田宮英明 ,  谷口佳代子 ,  黑田明博 ,  久米英廣

IPC: G01B11/04 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01D5/38

Abstract: 本发明涉及一种光接收/发射复合单元、其制造方法以及位移探测装置，其中的位移探测装置具有良好的时间稳定性，并且适于减小尺寸和重量，包括：光源，用于发射光束；偏振分束单元，用于将从光源发出的光束分解成具有不同偏振成分的两束光束，将这两束光束射向一外部光学系统，并将从该外部光学系统反射的两束光束加以组合以产生组合光束；相位板，设置在光源与偏振分束单元之间，用以改变从光源发出光束的偏振状态并将该光束射向偏振分束单元；分束薄膜，用于将由偏振分束单元产生的组合光束分解成多个光束；偏振单元，用于仅透射所分解组合光束的预定偏振成分；和光接收元件，用于对透过偏振单元的相干光束进行光电转换，从而产生一干涉信号。