抛光组合物
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1407045A

    公开(公告)日:2003-04-02

    申请号:CN02142015.7

    申请日:2002-08-21

    CPC classification number: C09K3/1463 C09G1/02 G11B5/8404

    Abstract: 一种抛光组合物,它包含平均初级粒度为200纳米或更小的磨料、氧化剂、pK1为2或更小的酸和/或它的盐、和水,其中抛光组合物的酸值为20~0.2毫克KOH/克;一种减少基片上微小擦痕的方法,它包括使用上述的抛光组合物抛光欲被抛光的基片;以及一种制造基片的方法,它包括使用上述的抛光组合物抛光欲被抛光的基片。该抛光组合物适用于最后抛光记忆硬盘基片和抛光半导体元件。

    抛光组合物
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100390245C

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN02142015.7

    申请日:2002-08-21

    CPC classification number: C09K3/1463 C09G1/02 G11B5/8404

    Abstract: 一种抛光组合物,它包含平均初级粒度为200纳米或更小的磨料、氧化剂、pK1为2或更小的酸和/或它的盐、和水,其中抛光组合物的酸值为20~0.2毫克KOH/克;一种减少基片上微小擦痕的方法,它包括使用上述的抛光组合物抛光欲被抛光的基片;以及一种制造基片的方法,它包括使用上述的抛光组合物抛光欲被抛光的基片。该抛光组合物适用于最后抛光记忆硬盘基片和抛光半导体元件。

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