一种微纳米光场实时构建调制系统和方法

    公开(公告)号:CN107229126A

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201710587322.4

    申请日:2017-07-18

    Applicant: 苏州大学

    CPC classification number: G02B27/0988

    Abstract: 本申请公开了一种微纳米光场实时构建调制系统和方法,该系统包括光源、空间过滤单元、4F光学系统和光波调制单元,所述4F光学系统包括沿光路依次设置的第一透镜(组)和第二透镜(组),本发明通过位相元件或位相元件组实现对入射波面实时的调控,通过空间过滤单元实现对入射光子波面、光波调制光学元器件像素选择、像素有效区域、成像面光场空间滤波等参数调控,最终利用空间滤波/空间分时滤波和/或位相元件的相对位置变化,实现图案、图案分布区域以及图案的空频、取向、占空比以及相位或相移量等结构参数的连续调制。该系统可灵活集成于各种光刻或显微系统中,实现任意微纳米结构的实时写入和可调制微纳米结构光检测。

    线光源的聚光结构和光源系统

    公开(公告)号:CN208041755U

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201721715255.1

    申请日:2017-12-11

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本实用新型提供了一种线光源的聚光结构和光源系统,该光源系统包括光源体模块以及聚光单元模块,所述光源体模块为线光源,所述聚光单元模块包括沿线光源的光路方向依次设置的第一狭缝、毛玻璃、第二狭缝和聚光透镜,所述第二狭缝和聚光透镜之间的距离大于聚光透镜的焦距,且小于聚光透镜的二倍焦距。本实用新型可以为待测目标提供优质的视场照明环境,改善所获取图像的质量,从而提高机器视觉检测系统的识别效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种微纳米光场实时构建调制系统

    公开(公告)号:CN207301512U

    公开(公告)日:2018-05-01

    申请号:CN201720872270.0

    申请日:2017-07-18

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本申请公开了一种微纳米光场实时构建调制系统,该系统包括光源、空间过滤单元、4F光学系统和光波调制单元,所述4F光学系统包括沿光路依次设置的第一透镜(组)和第二透镜(组),本实用新型通过位相元件或位相元件组实现对入射波面实时的调控,通过空间过滤单元实现对入射光子波面、光波调制光学元器件像素选择、像素有效区域、成像面光场空间滤波等参数调控,最终利用空间滤波/空间分时滤波和/或位相元件的相对位置变化,实现图案、图案分布区域以及图案的空频、取向、占空比以及相位或相移量等结构参数的连续调制。该系统可灵活集成于各种光刻或显微系统中,实现任意微纳米结构的实时写入和可调制微纳米结构光检测。

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