-
公开(公告)号：CN221350809U
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202323083711.3
申请日：2023-11-15
Applicant: 苏州市计量测试院
IPC: G01N1/28
Abstract: 本实用新型提供一种低成本超低浓度气体配置装置，包括气源、清洗气路、配气控制气路、抽真空气路、气体混合腔、气体测试腔和真空泵。气源包括背景气源和三路目标气源；配气控制气路分为两路，一路经气动隔膜阀和高速开关阀进行快速配气，另一路经第二质量流量控制阀进行高精度配气。本实用新型目标气路增加至三路，实现多组分的气体标准物配制；融入真空技术，通过背景气和三路目标气共用质量流量控制器和高速开关阀，节约了配置成本，提高资源利用效率；配气控制气路结合气动隔膜阀和高速开关阀，实现气体组分的快速补充，缩短配气时长，提升了工作效率。
Search Results
1
records
(took 0.026 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
