晶圆厚度无损测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN118999372A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202411109607.3

    申请日:2024-08-13

    Abstract: 本发明提供晶圆厚度无损测量装置及测量方法。测量装置包括支架、样品座、标准厚度片、上丝杆升降驱动机构、上激光位移传感器、下丝杆升降驱动机构、下激光位移传感器和控制器。本发明借助于已溯源的标准厚度片,通过比较测量,避免了单头测量中硅片与大理石之间的空隙引起的误差;也避免了接触式测量带来的对晶圆造成损伤的可能。通过上、下丝杆升降驱动机构预先将上、下激光位移传感器将其测距范围调节至其焦点距离,这样对晶圆测量读数就充分利用了上、下激光位移传感器测量精度最高的测距量程,实现了对晶圆非接触式的高精度测量。

    一种风量校准系统
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110044446B

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN201910270983.3

    申请日:2019-04-04

    Inventor: 朱兰 吴振一

    Abstract: 本发明涉及校准领域,特别涉及一种风量校准系统。风量校准系统包括风量管道、第一感测模组、压差感测模组、风量调节模组、控制器和喷嘴流量计模组;喷嘴流量计模组设置在风量管道内,风量管道的第一端设置有进风口,风量管道的第二端设置有出风口;风量调节模组设置在进风口;其中压差感测模组用于测量喷嘴流量计模组中喷嘴两端的第一压差值;第一感测模组用于测量风量管道内的第一测量值组;控制器用于根据第一压差值和第一测量值组调控风量调节模组,使风量管道中的风量达到第一预设风量值。控制器可根据一个标准自动调节通风管道的通风量,使通风管道内的通风量更加准确地达到第一预设风量值,提高风量校准系统的校准精度。

    一种基于激光显示系统光谱辐射度的色彩管理方法

    公开(公告)号:CN118887928A

    公开(公告)日:2024-11-01

    申请号:CN202411044143.2

    申请日:2024-07-31

    Abstract: 本发明提供一种基于激光显示系统光谱辐射度的色彩管理方法,涉及激光显示技术领域。该方法包括:构建激光显示系统的光谱辐射度理论模型;在预设的光学接收屏光谱反射率下,将光谱辐射度理论模型与激光显示系统的光谱辐射度测量结果进行拟合,以获得峰值波长和半高宽的拟合结果,并且将拟合结果作为参考值;从红绿蓝光峰值波长、红绿蓝光半高宽中选择一项或多项作为目标参数,将剩余项的参考值代入到模型中,改变目标参数的取值,通过模型来模拟目标参数对色彩参数的影响。利用本方法,可以模拟目标参数对色彩参数的影响,综合性地评价激光显示产品,有目的性地改进制造工艺,为激光显示参数测量、色彩管理、质量控制等方面提供新的思路和方法。

    一种硅片厚度测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN118816728A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410727784.1

    申请日:2024-06-06

    Abstract: 本发明提供一种硅片厚度测量装置及测量方法,测量装置包括样品架、标准厚度片、上位移传感器、下位移传感器和计算机,标准厚度片的厚度值为已溯源的标准值h;上位移传感器用于采集计算其与标准厚度片上表面接触位置点和其与待测硅片上表面接触位置点之间的位移值h1;下位移传感器用于采集计算其与标准厚度片下表面接触位置点和其与待测硅片下表面接触位置点之间的位移值h2;待测硅片厚度为h+h1+h2。本发明借助于已溯源的标准厚度片,通过比较测量,仅使用上位移传感器和下位移传感器上较小一段作为测量行程,避免了接触式传感器测量大行程时的精度差问题,同时避免了单头测量中硅片与大理石之间的空隙引起的误差,实现硅片厚度的高精度测量。

    一种闪烁测量仪校准装置、闪烁测量仪校准方法及存储介质

    公开(公告)号:CN113687407B

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202110973062.0

    申请日:2021-08-24

    Abstract: 本申请公开了一种闪烁测量仪校准装置、闪烁测量仪校准方法及存储介质,该闪烁测量仪校准装置包括控制模块,发光模块和亮度反馈模块;控制模块与发光模块连接,控制模块用于向发光模块发送亮度波形,控制发光模块基于亮度波形发光;亮度反馈模块分别与控制模块和发光模块连接,亮度反馈模块用于采集发光模块的亮度信号并发送至控制模块;控制模块用于根据亮度信号计算并校准响应时间。本申请中控制模块、发光模块和亮度反馈模块闭环连接,能够对发光模块的亮度进行闭环控制,发光模块的发光效果更精准;控制模块可以提供不同的亮度波形,可以在不同的亮度条件下同时对响应时间和闪烁率进行校准。

    前端侦控设备、侦控系统、侦控方法、侦控设备及可读介质

    公开(公告)号:CN116248300A

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202211131955.1

    申请日:2022-09-16

    Abstract: 本申请提供了一种前端侦控设备、侦控系统、侦控方法、侦控设备及可读介质,其中,前端侦控设备部署于目标用户终端所在的PON网络中,所述前端侦控设备包括:FPGA模块、交换模块和CPU模块;所述FPGA模块,用于进行协议转换并还原转换后的数据,得到还原后的报文数据;所述交换模块,用于将所述还原后的报文数据发送给所述CPU模块;所述CPU模块,用于根据所述还原后的报文数据,提取所述目标用户终端的用户信息,并基于所述用户信息对目标用户终端进行DNS重定向设置,以更改目标用户终端的DNS地址。本申请实施例提供的侦控方案,可以对特定人员的用户终端设备进行有效侦控。

    一种基于慢特征概率推理的流程工业过程关键变量检测技术

    公开(公告)号:CN115828141A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211621456.0

    申请日:2022-12-05

    Abstract: 本申请公开了一种基于慢特征概率推理的流程工业过程关键变量检测技术,涉及化工过程故障分类领域,通过引入慢特征的分析手段,提取出具有时间变化特性的过程动态特征,利用特征解释输入变量和关键变量之间可能遵循的超出当前时间的一定平衡关系的信息,并以此来检测整个系统遵循的一些惯性特性。在此基础上,利用改进的期望最大化(EM)算法实现对模型参数的训练。在工业生产过程中,相较于其他传统方法,本发明具有一定的优势,所提模型既可以充分考虑工业过程数据的动态特性,又可以提取随时间变化缓慢的特征,使工业过程关键变量检测技术更加高效和准确。

    一种用于电子吊秤检测装置的砝码加载零点平衡装置

    公开(公告)号:CN108151862B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201810142105.9

    申请日:2018-02-11

    Abstract: 本发明公开了一种用于电子吊秤检测装置的砝码加载零点平衡装置,包括:平衡支撑组件、平衡杠杆、平衡砣组件和平衡砝码组件,平衡杠杆上设置有滚轮组件;平衡支撑组件用于支撑滚轮;平衡砣组件设置在平衡杠杆上;平衡砣穿过横杆,并能在横杆上移动;平衡砝码组件设置在平衡杠杆的一端;平衡杠杆的另一端与电子吊秤的砝码连接装置连接。本发明运用平衡杠杆原理,通过可调节质量的平衡砝码,来实现对连接装置的质量的抵消,使得电子吊秤在存在连接装置的同时,不受其质量的影响,做到对电子吊秤检测时砝码的加载能够从“零”开始加载。

    一种积分球标准光源
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112032589A

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN202010965203.X

    申请日:2020-09-15

    Abstract: 本发明公开了一种积分球标准光源,包括积分球组件、光传输管和光源组件,所述积分球组件包括积分球,所述积分球内部设有空腔,所述积分球设有入光口和出光口,所述入光口和所述出光口均与所述空腔连通,所述光传输管连接所述光源组件和所述入光口,所述光源组件用于提供入射光,所述积分球用于将所述入射光处理为标准漫射光,所述出光口用于出射所述标准漫射光以形成标准发光面,本发明有效解决积分球光源的体积较大,不便移动,出射光线方向难以调节不便适配多样的使用环境,产线校准使用不便的技术问题。

    一种标准金属量器自动校准装置及方法

    公开(公告)号:CN110319908A

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201910635095.7

    申请日:2019-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种标准金属量器自动校准装置及方法,所述装置包括:壳体、第一水箱、第二水箱、标准金属量器、待校准金属量器、监测机构和校准控制系统;监测机构包括第一工业相机和第二工业相机,第一工业相机设置在标准金属量器的瓶颈侧边,用于读取标准金属量器的刻度,第二工业相机设置在待校准金属量器的瓶颈侧边,用于读取待校准金属量器的刻度;校准控制系统包括中央处理单元、第一数据采集单元、第二数据采集单元和水泵控制单元,第一数据采集单元与第一工业相机电连接,第二数据采集单元与第二工业相机电连接,水泵控制单元与水泵电连接,本发明能够自动读取刻度和自动控制校准过程,避免人为因素干扰,节约时间,提高校准效率。

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