公开(公告)号：CN113424018B

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202080013417.5

申请日：2020-02-07

Applicant: 荷兰联合仪器有限公司

Inventor： 伦斯·亨塞尔曼斯

IPC: G01B21/04 ,  G01M11/02 ,  G01B5/008 ,  G01B7/008 ,  G01B11/00 ,  G01B5/00

Abstract: 用于定位物体的定位系统，其中定位系统包括堆叠载物台系统，其中堆叠载物台系统是在基准表面上可移动的，其中堆叠载物台系统包括：驱动系统，用于驱动堆叠载物台系统；第一载物台，其布置成沿着与基准表面的平面平行的驱动平面被驱动；主载物台，用于支撑物体，其中主载物台布置在被驱动的第一载物台上，以用于沿着驱动平面移动主载物台；其中主载物台系统包括旋转驱动系统，并且其中旋转驱动系统布置成用于围绕平行于与驱动平面垂直的平面外方向的轴线相对于第一载物台旋转主载物台；以及其中主载物台相对于第一载物台沿平面外方向是可移动的，并且其中主载物台还包括支撑轴承，支撑轴承布置成沿平面外方向将主载物台可移动地支撑在基准表面上。

公开(公告)号：CN113424018A

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN202080013417.5

申请日：2020-02-07

Applicant: 荷兰联合仪器有限公司

Inventor： 伦斯·亨塞尔曼斯

IPC: G01B21/04 ,  G01M11/02 ,  G01B5/008 ,  G01B7/008 ,  G01B11/00 ,  G01B5/00

Abstract: 用于定位物体的定位系统，其中定位系统包括堆叠载物台系统，其中堆叠载物台系统是在基准表面上可移动的，其中堆叠载物台系统包括：驱动系统，用于驱动堆叠载物台系统；第一载物台，其布置成沿着与基准表面的平面平行的驱动平面被驱动；主载物台，用于支撑物体，其中主载物台布置在被驱动的第一载物台上，以用于沿着驱动平面移动主载物台；其中主载物台系统包括旋转驱动系统，并且其中旋转驱动系统布置成用于围绕平行于与驱动平面垂直的平面外方向的轴线相对于第一载物台旋转主载物台；以及其中主载物台相对于第一载物台沿平面外方向是可移动的，并且其中主载物台还包括支撑轴承，支撑轴承布置成沿平面外方向将主载物台可移动地支撑在基准表面上。

公开(公告)号：CN117120802A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280019041.8

申请日：2022-03-03

Applicant: 荷兰联合仪器有限公司

Inventor： 伦斯·亨塞尔曼斯 ,  杰拉德·科内利斯·凡·登·埃杰尔

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种用于确定指示光学元件的第一表面相对于光学元件的第二表面的相对位置的一个或多个参数的测量设备，该测量设备包括：‑支撑设备，其包括用于在第一方向上将光学元件支撑在测量设备中的支撑表面，其中，所述支撑表面被布置为用于抵接光学元件的第一表面和第二表面中的一者；‑测量单元，其被布置为用于映射光学元件的第一表面和第二表面中的另一者的几何形状，并且通过进行相应表面的测量来映射支撑设备的支撑表面的几何形状；‑处理单元，其被配置为基于所提供的第一表面和第二表面中的一者的几何形状、第一表面和第二表面中的另一者的映射的几何形状、以及支撑表面的映射的几何形状来确定一个或多个参数。