公开(公告)号：CN116288190A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202310333631.4

申请日：2023-03-31

Applicant: 郑州大学

Inventor： 吴小超 ,  李庆奎 ,  任壮 ,  王成铎 ,  张龙振 ,  何季麟

IPC: C23C14/34 ,  B22F3/15 ,  B22F3/04 ,  B22F3/10 ,  B22F1/052 ,  C22C27/04 ,  C22C14/00 ,  C23C14/14

Abstract: 本发明实施例公开了低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材及制备方法；制备方法包括：取设定量的钼粉和钛粉，在混料机中氩气氛保护下混合得到混合粉体；将混合粉体进行冷等静压成型，得到钼钛生坯；将得到的钼钛生坯进行低温真空烧结，得到预烧结坯；将预烧结坯进行热等静压烧结，得到低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材。本发明实施例公开的低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材的制备方法，结合真空烧结与热等静压来制备钼钛合金靶材，先使用真空预烧结除去坯体中杂质性元素，然后将预烧结坯进行热等静压烧结得到低氧、高致密以及高塑性的钼钛合金靶材，在钼钛合金靶材制备领域有良好的应用前景。