光阻膜及其应用
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117631439A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202310582851.0

    申请日:2023-05-23

    Abstract: 本发明提供一种光阻膜及其应用。该光阻膜具有一单位为微米的厚度T,且该光阻膜以紫外光‑可见光光谱术测定时,对波长405纳米的光具有吸光度A405nm,对波长436纳米的光具有吸光度A436nm,其中0

    感光性树脂积层体及其应用
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119556523A

    公开(公告)日:2025-03-04

    申请号:CN202410010516.8

    申请日:2024-01-04

    Abstract: 本发明提供一种感光性树脂积层体及其应用。该感光性树脂积层体由二层以上的感光性树脂层构成且包含一第二组分,其中:当该感光性树脂积层体在添加甲苯作为内标物质的气相层析中进行表征时,于0.55分钟至1.30分钟具有该第二组分的洗脱峰,于1.32分钟至1.65分钟具有甲苯的洗脱峰,且满足以下关系式:#imgabs0#其中甲苯添加量与感光性树脂积层体质量的单位为克(g);以及该感光性树脂积层体的总厚度为100微米至600微米。

    抗蚀刻组合物
    6.
    发明公开
    抗蚀刻组合物 审中-实审

    公开(公告)号:CN113075862A

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN202110233684.X

    申请日:2021-03-03

    Abstract: 本发明提供一种抗蚀刻组合物,该抗蚀刻组合物的闪火点为60℃以上,且包含树脂组分以及溶剂组分,其中该溶剂组分具有第一溶剂及第二溶剂,第一溶剂的闪火点为60℃以上,第二溶剂的闪火点小于60℃。溶剂组分的含量为以100重量份的抗蚀刻组合物计为30重量份至70重量份,且第二溶剂的含量以溶剂组分总重量计为1重量%至30重量%。该树脂组分选自以下群组:丙烯酸系树脂、酚醛树脂、环氧树脂及其组合。

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