公开(公告)号：CN116917650A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280018887.X

申请日：2022-04-01

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 福川展弘 ,  角谷宏树 ,  西村康典

IPC: F16K41/00

Abstract: 为了将用于防止控制流体从流路30通过插通孔8d、而流入磁性流体密封部19的吹扫气体供给到蝶形阀1，包括吹扫气体流路60。吹扫气体流路60从上游侧设置有开关吹扫气体流路60的开关阀62、以及测量吹扫气体流路60的压力值的压力计64。吹扫气体流路60在压力计64的下游侧，连接于蝶形阀1的磁性流体密封部19与流路30之间，并且通过插通孔8d而连通于流路30。至少包括控制开关阀62的控制装置70。控制装置70包括监控压力值P的监控程序。

公开(公告)号：CN115461693B

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202180026240.7

申请日：2021-03-02

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 角谷宏树 ,  西村康典

IPC: G05D7/06

Abstract: 在包括第一以及第二截止阀(11、13)、槽(12)、压力传感器(14)以及控制器(15)的脉冲喷射式流量调整装置(1)，进行多次过程。控制器(15)在各过程中，重复使第一截止阀(11)和第二截止阀(13)交替进行开关动作的脉冲喷射，基于填充后压力(P1)和喷出后压力(P2)的压差(ΔP)而改变脉冲喷射的方式，调整体积流量(QA)(S503‑S531、S537)。控制器(15)在各过程中，在将体积流量(QA)调整至目标流量(Q)时将填充时间(t1)作为最佳填充时间(tx)而存储(S533)，在下一个过程的最初的脉冲喷射中使用最佳填充时间(tx)而开关第一截流阀(11)(S505)。

公开(公告)号：CN115461693A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202180026240.7

申请日：2021-03-02

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 角谷宏树 ,  西村康典

IPC: G05D7/06

Abstract: 在包括第一以及第二截止阀(11、13)、槽(12)、压力传感器(14)以及控制器(15)的脉冲喷射式流量调整装置(1)，进行多次过程。控制器(15)在各过程中，重复使第一截止阀(11)和第二截止阀(13)交替进行开关动作的脉冲喷射，基于填充后压力(P1)和喷出后压力(P2)的压差(ΔP)而改变脉冲喷射的方式，调整体积流量(QA)(S503‑S531、S537)。控制器(15)在各过程中，在将体积流量(QA)调整至目标流量(Q)时将填充时间(t1)作为最佳填充时间(tx)而存储(S533)，在下一个过程的最初的脉冲喷射中使用最佳填充时间(tx)而开关第一截流阀11(S505)。