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公开(公告)号：CN116917650A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202280018887.X
申请日：2022-04-01
Applicant: CKD株式会社
IPC: F16K41/00
Abstract: 为了将用于防止控制流体从流路30通过插通孔8d、而流入磁性流体密封部19的吹扫气体供给到蝶形阀1，包括吹扫气体流路60。吹扫气体流路60从上游侧设置有开关吹扫气体流路60的开关阀62、以及测量吹扫气体流路60的压力值的压力计64。吹扫气体流路60在压力计64的下游侧，连接于蝶形阀1的磁性流体密封部19与流路30之间，并且通过插通孔8d而连通于流路30。至少包括控制开关阀62的控制装置70。控制装置70包括监控压力值P的监控程序。
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