公开(公告)号：CN104204522B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201380017010.X

申请日：2013-03-07

Applicant: ULVAC机工株式会社

Inventor： 大坂泰介 ,  田边优作 ,  长野元泰 ,  丝山龙二

IPC: F04B41/06 ,  F04B27/02

CPC classification number: F04B27/005 ,  F04B1/02 ,  F04B35/04 ,  F04B39/0094 ,  F04B41/06 ,  F04B2201/02011 ,  F04B2201/0802 ,  F04B2203/0201

Abstract: 本发明提供一种能够进一步降低耗电量的泵装置。本发明的一个实施方式所涉及的泵装置(1)具有：驱动电机M，具有第1泵室和第1活塞(21v)、用于真空排气的第1泵部(11)，以及具有第2泵室和第2活塞(21c)、用于加压的第2泵部。第2活塞(21c)以大于0°小于80°的旋转相位差Φ超前于第1活塞(21v)。

公开(公告)号：CN104204522A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380017010.X

申请日：2013-03-07

Applicant: ULVAC机工株式会社

Inventor： 大坂泰介 ,  田边优作 ,  长野元泰 ,  丝山龙二

IPC: F04B41/06 ,  F04B27/02

CPC classification number: F04B27/005 ,  F04B1/02 ,  F04B35/04 ,  F04B39/0094 ,  F04B41/06 ,  F04B2201/02011 ,  F04B2201/0802 ,  F04B2203/0201

Abstract: 本发明提供一种能够进一步降低耗电量的泵装置。本发明的一个实施方式所涉及的泵装置(1)具有：驱动电机M，具有第1泵室和第1活塞(21v)、用于真空排气的第1泵部(11)，以及具有第2泵室和第2活塞(21c)、用于加压的第2泵部。第2活塞(21c)以大于0°小于80°的旋转相位差Φ超前于第1活塞(21v)。