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公开(公告)号:CN102628441A
公开(公告)日:2012-08-08
申请号:CN201210022327.X
申请日:2012-02-01
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种可确保齿轮机构的稳定润滑的真空泵。所述真空泵具备泵部、驱动部、旋转传动部、以及限制构件。所述泵部具有转子、以及容纳所述转子的泵室。所述驱动部具有:驱动机构,其使所述转子旋转;马达室,其容纳所述驱动机构;以及,第一排气通道,其使所述泵室与马达室连通。所述旋转传动部具有:同步齿轮,其使所述转子与转子同步旋转;齿轮室,其容纳所述同步齿轮,并可贮存润滑油;以及,第二排气通道,其使所述马达室与齿轮室连通。所述限制构件设置于所述第二排气通道中,具有限制所述润滑油从所述齿轮室向所述马达室流动的限制部。
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公开(公告)号:CN104234979A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410179769.4
申请日:2014-04-30
Applicant: ULVAC机工株式会社
IPC: F04B39/10
Abstract: 提供一种在具有由簧片阀构成的吸排气阀的泵中,能够通过减小泵室内的无用空间而提高圧缩比,同时能够实现零件数量的削减以及装配工序的简单化的技术。在设在泵室(2)的上部的顶面板(5)的本体部(50)的排气侧面(50a)上形成凹部状的吸气阀压紧部(52),所述吸气阀压紧部(52)以厚度朝向吸气口(51)而变薄地倾斜并且与吸气口(51)连续。设有吸排气阀部件(6),其具有相对于顶面板(5)紧密贴合在排气侧地定位配置的平板状的本体部(60),与顶面板(5)的吸气口(51)以及吸气阀压紧部(52)重合地设有与吸排气阀部件(6)的本体部(60)一体地设置的吸气阀(62)。
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公开(公告)号:CN104234979B
公开(公告)日:2017-09-22
申请号:CN201410179769.4
申请日:2014-04-30
Applicant: ULVAC 机工株式会社
IPC: F04B39/10
Abstract: 提供一种在具有由簧片阀构成的吸排气阀的泵中,能够通过减小泵室内的无用空间而提高圧缩比,同时能够实现零件数量的削减以及装配工序的简单化的技术。在设在泵室(2)的上部的顶面板(5)的本体部(50)的排气侧面(50a)上形成凹部状的吸气阀压紧部(52),所述吸气阀压紧部(52)以厚度朝向吸气口(51)而变薄地倾斜并且与吸气口(51)连续。设有吸排气阀部件(6),其具有相对于顶面板(5)紧密贴合在排气侧地定位配置的平板状的本体部(60),与顶面板(5)的吸气口(51)以及吸气阀压紧部(52)重合地设有与吸排气阀部件(6)的本体部(60)一体地设置的吸气阀(62)。
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公开(公告)号:CN104204522B
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201380017010.X
申请日:2013-03-07
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B27/005 , F04B1/02 , F04B35/04 , F04B39/0094 , F04B41/06 , F04B2201/02011 , F04B2201/0802 , F04B2203/0201
Abstract: 本发明提供一种能够进一步降低耗电量的泵装置。本发明的一个实施方式所涉及的泵装置(1)具有:驱动电机M,具有第1泵室和第1活塞(21v)、用于真空排气的第1泵部(11),以及具有第2泵室和第2活塞(21c)、用于加压的第2泵部。第2活塞(21c)以大于0°小于80°的旋转相位差Φ超前于第1活塞(21v)。
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公开(公告)号:CN103502650B
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201280011595.X
申请日:2012-03-02
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04D15/0066 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04C28/08 , F04C2270/035 , F04C2270/051 , F04C2270/86
Abstract: 本发明提供一种在不会发生失调、能够实现稳定的排气动作的真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法。真空泵具有:转子(21、22);驱动马达(35);磁耦合机构(50),其以第1阈值(Th1)以下的转动扭矩向所述转子传递所述驱动马达的转动力。该真空泵的运转控制方法为:当所述负载扭矩为比所述第1阈值(Th1)小的第2阈值(Th2)以下时,增大所述驱动马达(35)的转速,当所述负载扭矩超过所述第2阈值(Th2)且为所述第1阈值(Th1)以下时,减小所述驱动马达(35)的转速。
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公开(公告)号:CN102628441B
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:CN201210022327.X
申请日:2012-02-01
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种可确保齿轮机构的稳定润滑的真空泵。所述真空泵具备泵部、驱动部、旋转传动部、以及限制构件。所述泵部具有转子、以及容纳所述转子的泵室。所述驱动部具有:驱动机构,其使所述转子旋转;马达室,其容纳所述驱动机构;以及,第一排气通道,其使所述泵室与马达室连通。所述旋转传动部具有:同步齿轮,其使所述转子与转子同步旋转;齿轮室,其容纳所述同步齿轮,并可贮存润滑油;以及,第二排气通道,其使所述马达室与齿轮室连通。所述限制构件设置于所述第二排气通道中,具有限制所述润滑油从所述齿轮室向所述马达室流动的限制部。
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公开(公告)号:CN104204522A
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201380017010.X
申请日:2013-03-07
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04B27/005 , F04B1/02 , F04B35/04 , F04B39/0094 , F04B41/06 , F04B2201/02011 , F04B2201/0802 , F04B2203/0201
Abstract: 本发明提供一种能够进一步降低耗电量的泵装置。本发明的一个实施方式所涉及的泵装置(1)具有:驱动电机M,具有第1泵室和第1活塞(21v)、用于真空排气的第1泵部(11),以及具有第2泵室和第2活塞(21c)、用于加压的第2泵部。第2活塞(21c)以大于0°小于80°的旋转相位差Φ超前于第1活塞(21v)。
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公开(公告)号:CN103502650A
公开(公告)日:2014-01-08
申请号:CN201280011595.X
申请日:2012-03-02
Applicant: ULVAC机工株式会社
CPC classification number: F04D15/0066 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04C28/08 , F04C2270/035 , F04C2270/051 , F04C2270/86
Abstract: 本发明提供一种在不会发生失调、能够实现稳定的排气动作的真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法。真空泵具有:转子(21、22);驱动马达(35);磁耦合机构(50),其以第1阈值(Th1)以下的转动扭矩向所述转子传递所述驱动马达的转动力。该真空泵的运转控制方法为:当所述负载扭矩为比所述第1阈值(Th1)小的第2阈值(Th2)以下时,增大所述驱动马达(35)的转速,当所述负载扭矩超过所述第2阈值(Th2)且为所述第1阈值(Th1)以下时,减小所述驱动马达(35)的转速。
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公开(公告)号:CN308124323S
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202330093687.8
申请日:2023-03-06
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:泵用隔膜。
2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品是用于隔膜式真空泵的隔膜。
3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。-
公开(公告)号:CN302351010S
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN201230263967.0
申请日:2012-06-20
Applicant: ULVAC机工株式会社
Abstract: 设计1和设计2是相似外观设计。其中设计1为该外观设计的基本设计。该外观设计产品名称为真空泵,本产品为用于(但不限于)负压输送系统真空源的真空泵。设计要点在于整体形状。该产品的设计1立体图1是最能表明该外观设计要点的图片。
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