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公开(公告)号：CN104848879A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510111224.4
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 基于线性工作匹配光栅法的光纤布拉格光栅传感器信号解调方法属于光纤传感技术领域；待测光纤光栅反射信号通过待测光纤光栅反射信号输入端口经隔离器和50∶50光纤耦合器后一部分进入光功率探测器A，另一部分经过参考光纤光栅后，两光谱重叠部分被反射，反射信号再经50∶50光纤耦合器进入光功率探测器B，光功率计将光功率探测器A、B的信号做除法计算后转化为光功率比值电信号，送入测量计算机，建立待测光纤光栅反射信号光谱中心波长与光功率比值的关系，使待测光纤光栅反射信号光谱中心波长与光功率比值的关系是线性的，实现无温度耦合的光纤布拉格光栅传感器信号解调；本发明具有信号处理简单、分辨力高、解调速度快的优点。
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公开(公告)号：CN104677291A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510109990.7
申请日：2015-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于线性腔光纤激光器的双芯光纤光栅探针微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；两根单模光纤通过双芯光纤扇出器和双芯光纤分别将多路光开关与双芯光纤光栅探针连通，双芯光纤光栅探针中的光纤光栅和外部参考光栅通过多路光开关切换分别作为线性腔光纤激光器的波长选择器件，外部参考光栅的初始中心波长、双芯光纤光栅探针中光纤光栅的初始中心波长与光纤光栅的初始中心波长应满足双芯光纤光栅探针线性工作条件；通过计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量线性腔光纤激光器输出激光波长，利用差分数据处理算法实现无温度耦合的二维微尺度测量；本发明具有传感供能为一体、系统紧凑、灵敏度高的特点。
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公开(公告)号：CN104677290A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510109878.3
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于自组装原理的双芯光纤光栅微尺度测量探针制作方法属于精密仪器制造技术领域；本方法采用机械加工或氢氟酸光纤腐蚀处理的方式减小刻写光纤光栅后的单模光纤的直径，再将两根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤穿过带有内锥角的细管中，并将下端浸没在低粘度紫外胶中，利用毛细力对其进行自组装，从而形成最紧凑的并列结构，对自组装后的两根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤进行紫外胶固化，制成双芯光纤光栅，在光纤研磨机上对双芯光纤光栅的端面进行研磨，采用熔融光纤法或微球安装法在双芯光纤光栅研磨端加工出一个球形针尖，完成双芯光纤光栅探针的加工；本发明光纤光栅信号无串扰，低成本，低损耗。
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公开(公告)号：CN104677287A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510109829.X
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤环形激光器的三芯光纤光栅探针微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括泵浦源、波分复用器、掺铒光纤、饱和吸收体、多路光开关、外部参考光栅、三芯光纤光栅探针、计算机、光谱分析仪，泵浦源通过波分复用器与掺铒光纤、环形器、耦合器及隔离器B构成的环形腔连接，耦合器通过隔离器A与光谱分析仪、计算机连接形成通路；所述方法是计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量三芯光纤光栅探针和外部参考光栅作为激光波长选择器件时光纤环形激光器输出的激光波长，利用差分数据处理算法实现无温度耦合的二维微尺度测量；本发明具有传感供能为一体、系统紧凑、灵敏度高的特点。
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公开(公告)号：CN104677286A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510109828.5
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤环形激光器的四芯光纤光栅探针微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括泵浦源、波分复用器、掺铒光纤、饱和吸收体、多路光开关、外部参考光栅、四芯光纤光栅探针、计算机、光谱分析仪，泵浦源通过波分复用器与掺铒光纤、环形器、耦合器及隔离器B构成的环形腔连接，耦合器通过隔离器A与光谱分析仪、计算机连接形成通路；所述方法是计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量四芯光纤光栅探针和外部参考光栅作为激光波长选择器件时光纤环形激光器输出的激光波长，利用差分数据处理算法实现无温度耦合的三维微尺度测量；本发明具有传感供能为一体、系统紧凑、灵敏度高的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102495530B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201110377902.3
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，在基台边缘分别设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，在基台中间设置有2个过梁式直线运动单元，其底面高于工件台工作面；两个硅片台将基台表面作为气浮支撑和导向面；Y方向直线运动单元通过沿X方向直线运动单元可以实现沿X方向运动，并通过其自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X或Y方向的运动；本发明采用一体化设计，省掉双台交换系统在交换过程中的抓卡和换卡运动节拍，整个交换过程仅有三个节拍，显著缩短交换过程所需时间，明显提高生产效率。
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公开(公告)号：CN103900491A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118969.9
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于受激布里渊原理的三芯光纤空间形状测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术；所述装置结构是：三芯光纤扇出器与三芯光纤分布传感器光缆连接，三芯光纤分布传感器光缆由三芯光纤、保护套和高反射银膜构成，多路光开关与三芯光纤分布传感器光缆和隔绝外应力封装的参考光纤光缆连接，控制计算机分别与电光调制器A和B、多路光开关、频谱分析仪连通，频谱分析仪与平衡光电探测器连通；所述测量方法是：利用探测光与泵浦光在特定位置发生受激布里渊散射，采用相干检测技术探测微弱散射光信号完成空间形状测量。本装置具有非局域效应不明显、精度高、对环境不敏感、可以依附在被测构件表面实时测量以及使用寿命长的特点。
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公开(公告)号：CN103900472A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118970.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于偏振态检测的双入射保偏平光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器A、B、起偏器A、B、平面反射镜A、B、半透半反棱镜、波片、探针、偏振态检测装置、计算机，其中探针由入射光纤A、入射光纤B、出射光纤、耦合球组成，半透半反棱镜、波片、探针依次排列，所述激光器A出射光经起偏器A由平面反射镜A反射进入射光纤A，激光器B出射光经起偏器B由平面反射镜B反射进入射光纤B，偏振态检测装置A、B分别接收光束第一、二次经半透半反棱镜反射的光束，当偏振态检测装置B检测到的偏振态相对于偏振态检测装置A检测到的偏振态的差值发生变化时，探针与被测孔发生触测；本传感器精度高，速度快。
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公开(公告)号：CN103900468A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118922.2
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 带有端面微结构的双光纤共球耦合微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜、CCD相机、计算机和由入射光纤、耦合器、带有锥形端面微结构的出射光纤组成的探针，耦合器作为探针的触点，光束经入射光纤导入耦合器后由带有锥形端面微结构的出射光纤导出，导出光束经显微物镜进入CCD相机，通过图像处理技术即可得到出射光束在CCD相机上形成的光斑能量中心位置，由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况；本传感器探针中的出射光纤带有端面微结构，极大的提高了检测信号的信噪比，提升了传感器的测量分辨力。
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公开(公告)号：CN103900467A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118921.8
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于偏振态检测的单光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、半透半反棱镜、波片、探针、偏振态检测装置A、偏振态检测装置B、计算机，其中探针由单模光纤和耦合球组成，激光器、半透半反棱镜、波片、探针依次排列，所述激光器出射光分别经半透半反棱镜反射、透射，反射光进入偏振态检测装置A，透射光进入探针并经过耦合球实现光束反向传输由探针出射，出射光再次经过波片并由半透半反棱镜反射进入偏振态检测装置B，当偏振态检测装置B检测到的偏振态相对于偏振态检测装置A检测到的偏振态的差值发生变化时，即可判断探针与被测孔发生触测；本传感器精度高、速度快。
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