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公开(公告)号：CN107126987A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710359057.4
申请日：2017-05-19
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: B01L3/00
CPC classification number: B01L3/5027 , B01L2300/0874
Abstract: 一种三维聚焦流合成液滴微流控芯片及制作方法，该芯片包含连续相层和离散相层；连续相层包含连续相流道、连续相储液池、防堵塞阵列结构、流体输出流道和流体输出口，离散相层包含离散相流道、离散相储液池和收缩口；连续相流道从连续相储液池开始，经过防堵塞阵列结构后在中途分成两条连续相流道，对称分布于离散相流道两侧，并且最终在离散相流道出口处相交相通，经收缩口后进入流体输出流道；收缩口的宽度小于离散相流道的宽度；连续相流道的深度大于离散相流道和收缩口的深度，且离散相流道出口在横向和深度方向上位于连续相流道的中间位置。该微流控芯片容易产生聚焦流，可以稳定生成亚微米液滴。
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公开(公告)号：CN107053579A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710044826.1
申请日：2017-01-20
Applicant: 清华大学深圳研究生院
CPC classification number: B29C45/14795 , B29C45/26 , B29C45/76
Abstract: 本发明公开了一种注塑成型装置和注塑成型方法，该装置包括上模具和下模具，所述上模具或所述下模具上设置有带钢针的钢针镶块，所述下模具或所述上模具与所述钢针相对的模具表面上设置有一层弹性薄膜，所述钢针的形状和尺寸为注塑微孔所需的形状和尺寸，所述钢针从所述上模具或所述下模具上朝向所述弹性薄膜突伸，并设置成合模后所述钢针的端面压入所述弹性薄膜的内部。本发明可有效解决现有注塑成型装置及方法对于微米级微孔和微孔阵列难于制作，尺寸精度差和孔口易出现缺陷和飞边的问题。
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公开(公告)号：CN106932128A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710265632.4
申请日：2017-04-21
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种用于压阻式压力传感器的压力敏感层及压阻式压力传感器，该压力敏感层包括石墨烯材料和聚合物弹性体；所述石墨烯材料是疏松多孔的且具有微结构阵列，所述聚合物弹性体包覆在所述石墨烯材料外且渗入所述石墨烯材料的各个孔中。该压阻式压力传感器包括相互键合的第一电极板和第二电极板和至少一层置于所述第一电极板和所述第二电极板之间的压力敏感层；所述微结构阵列中的微结构与所述第一电极板和/或所述第二电极板中的电极接触。本发明的该压阻式压力传感器能将外界压力大小转化为传感器的电阻值，从而利用电信号的变化来感知外界压力的变化，具有灵敏度高、成本低、高柔韧性、易加工、易于阵列化与微型化等优点。
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公开(公告)号：CN104985266B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201510400520.6
申请日：2015-07-09
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种基于电化学微加工的纳米压印滚筒模具制备装置，包括：旋转轴，待加工滚筒模具装于所述旋转轴上；电极架和装于所述电极架上的微细加工电极，所述微细加工电极与所述待加工滚筒模具相对安置；用于安置电极架的移动台，所述移动台能够实现垂直和水平运动；在所述微细加工电极的加工区域喷射刻蚀液的喷头；在所述微细加工电极和所述待加工滚筒模具之间加载高频脉冲电信号的高频脉冲电源。一种纳米压印滚筒模具制备方法，使用所述的纳米压印滚筒模具制备装置。该装置结构简单，成本低，加工效率和加工精度高。
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公开(公告)号：CN104437690A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410698802.4
申请日：2014-11-26
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种用于生化分析的微孔板以及金属镍模具及其制备方法。所述微孔板的材料为柔性材料，所述微孔板上具有若干个微孔，每一个所述微孔内的底面均具有若干个纳米孔，在所述纳米孔的底面以及与所述纳米孔的底面平行的各个面上还设有金属反射膜，所述微孔的直径为0.8～3mm，所述纳米孔的直径为50～300nm。相应的，所述金属镍模具一个表面上具有若干个微细柱状突起，每一个所述微细柱状突起的顶面上均具有若干个纳米柱状突起，所述微细柱状突起的直径为0.8～3mm，所述纳米柱状突起的直径为50～300nm。本发明可使微孔的容积可以缩小为传统孔板的1/10～1/20，极大节约生化试剂用量，同时本发明可大幅提高微孔板的检测精度，进一步减小检测试剂用量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119738058A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411941801.8
申请日：2024-12-26
Applicant: 清华大学深圳国际研究生院
IPC: G01K11/26
Abstract: 本发明公开了一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器。所述传感器是谐振型的声表面波传感器，包括金属薄膜层与压电基底。所述金属薄膜层包括环形叉指电极、环形反射栅、汇流条和焊盘，其中环形叉指电极由在同一直线上的相向汇流条向两侧沿圆周方向延伸而出，环形反射栅布置在环形叉指电极外围。金属薄膜层通过微纳加工工艺在基底表面进行金属图形化制备。该传感器能将环境温度转化为传感器的声表面波谐振频率，利用扫频电信号读取传感器频率的变化来感知外界温度的变化。该传感器具有耐高温、量程大、信噪比高、准确性高、易加工等优点。
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公开(公告)号：CN118443580A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410536655.4
申请日：2024-04-30
Applicant: 清华大学深圳国际研究生院
IPC: G01N21/01 , G01N21/359
Abstract: 本申请公开了一种微流物质的检测装置以及检测系统，检测装置包括环形光学腔，包括环形腔口和环形腔壁；微流道模块，匹配设置于环形腔口；光波导，与环形腔壁倏逝耦合，光波导的两端与外部检测装置连接，光波导用于根据外部检测装置输入的第一光波向环形腔壁传输第一倏逝波，并接收环形腔壁传输的第二倏逝波，以将第二倏逝波与第一光波合成为第二光波，并向外部检测装置输出。通过倏逝耦合将光波导中的第一光波耦合至环形光学腔，使得根据第一倏逝波耦合至环形光学腔的光波能够在环形光学腔能够进行多次传播，从而可以使得微流物质能够在单位时间内对环形光学腔的光波进行多次近红光谱倍频吸收，微流物质对近红外光谱倍频吸收程度。
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公开(公告)号：CN110108751B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201910502216.0
申请日：2019-06-11
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种可测量热导率和热扩散率的触觉传感器及测量方法，该触觉传感器包括基底与设置在基底上的热测量单元和压力检测单元，压力检测单元用于感知接触压力，热测量单元包括测温区和加热区，加热区用于对热测量单元进行可控加热，测温区用于在触觉传感器与待测物体接触时在加热区未加热和加热的状态下分别测量热测量单元的初始温度和加热时的实测温度变化，待测物体的热导率和热扩散率根据所测量的热测量单元未加热时的初始温度、加热时的实测温度变化、以及预先确定的触觉传感器与待测物体接触时热测量单元温度随时间变化的关系得到。该触觉传感器可以实现温度以及接触物体热导率、热扩散率的测量，具有测量精度高、集成化、微型化等优点。
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公开(公告)号：CN109848957B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201910211869.3
申请日：2019-03-20
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种柔性微型机器人，该柔性微型机器人包括：上下贴合的主动柔性和被动柔性件，以及第一支撑件；主动柔性件用于在外力作用下伸长或缩短；被动柔性件用于在主动柔性件的带动下向底部弯曲或舒张；第一支撑件设置在被动柔性件底部的一侧，且与地面具有第一预设夹角。本发明可以在提高微型机器人运动速度的同时，简化结构，降低成本。
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公开(公告)号：CN110081810B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201910440153.0
申请日：2019-05-24
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B7/16
Abstract: 一种柔性可拉伸应变传感器及其制备方法，该传感器包括柔性可拉伸基底层、形成在所述柔性可拉伸基底层上的可拉伸敏感元件以及连接在所述可拉伸敏感元件的两端的电极，所述电极设置成在所述可拉伸敏感元件处于释放状态时具有沿着所述柔性可拉伸应变传感器的可拉伸方向分布的可拉伸褶皱结构，所述褶皱结构在所述可拉伸敏感元件处于拉伸状态时沿着拉伸方向展平而至少部分地抵消所述电极受到的拉伸力，且在所述拉伸力消失时复原所述褶皱结构。本发明提供了一种同时具备可拉伸敏感元件和可拉伸电极且制作起来简单有效的柔性可拉伸应变传感器。
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