一种提高N掺杂ZnO薄膜荧光特性的方法

    公开(公告)号:CN108754443A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810560533.3

    申请日:2018-06-04

    Abstract: 本发明公开一种提高N掺杂ZnO薄膜荧光特性的方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,将衬底置于磁控溅射设备的真空腔室内,以陶瓷ZnO靶为基材,通入Ar和N2在衬底表面进行N掺杂ZnO薄膜的制备;S3、将得到的N掺杂ZnO薄膜置于退火炉中,以N2为保护气氛,在1000℃的温度下退火3小时;S4、持续向退火炉通入N2,使N掺杂ZnO薄膜随炉冷却至室温;高温退火可以提高薄膜的结晶质量;在N2的保护气氛中退火可以使薄膜中的N离子或ZnO中的错位粒子迁移到合适的位置,另一方面由于N2的作用,也可进一步提高薄膜中的N含量,得到荧光特性增强的ZnO薄膜。

    一种离子束沉积制备CN薄膜的方法

    公开(公告)号:CN108642465A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810560534.8

    申请日:2018-06-04

    CPC classification number: C23C14/46 C23C14/0658 C23C14/48

    Abstract: 本发明公开一种离子束沉积制备CN薄膜的方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污与杂质;S2、采用连通的离子束沉积设备与离子注入机,离子束沉积设备采用C靶,将衬底置于离子束沉积设备的真空腔室内,以氩离子轰击C靶;同时,开启离子注入机,注入N离子,在衬底表面得到CN薄膜;C靶的工艺参数通过离子束沉积设备进行独立控制,N离子源的提供由离子注入机完成,整个过程中离子束沉积设备与离子注入机都是单独工作,不相互干扰;C与N的简单的进行反应得到CN薄膜,无其它离子存在,工艺简单,可控性较强。

    一种Al、Mn、ZnO共掺杂复合薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108396298A

    公开(公告)日:2018-08-14

    申请号:CN201810560606.9

    申请日:2018-06-04

    CPC classification number: C23C14/352 C23C14/08 C23C14/081 C23C14/086

    Abstract: 本发明公开一种Al、Mn、ZnO共掺杂复合薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面油污和杂质;S2、采用磁控溅射设备,以ZnO靶、Al2O3靶与MnO2靶为溅射靶材,ZnO靶、Al2O3靶与MnO2靶在水平面以三角形分布,且ZnO靶、Al2O3靶与MnO2靶分别与水平面形成60º夹角,所述衬底位于ZnO靶、Al2O3靶与MnO2靶的延长线交点处;S3、向磁控溅射设备的真空腔室内通入溅射气体氩气,ZnO靶的功率400W、Al2O3靶的功率150W、MnO2靶的功率150W,Ar总通入量为100sccm,工作气压2.0Pa,溅射1.5小时,得到Al、Mn、ZnO共掺杂复合薄膜;改变靶材各自的溅射参数可进行任意掺杂元素、任意掺杂量的掺杂,且所制备薄膜掺杂都非常均匀。

    一种绒面AZO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108165939A

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201711415267.7

    申请日:2017-12-25

    CPC classification number: C23C14/086 C03B11/00 C23C14/35

    Abstract: 本发明公开一种绒面AZO薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、采用熔融法制备超白玻璃,在超白玻璃出炉过程中,采用表面具有绒面结构的模板对超白玻璃表面进行压模,得到表面具有绒面结构的超白玻璃;S2、将制得的超白玻璃进行钢化、切割、清洗工序得到表面具有绒面结构的玻璃基片;S3、将玻璃基片作为衬底,通过磁控溅射在玻璃基片的绒面沉积AZO,得到绒面AZO薄膜;本方法无需酸蚀刻步骤,降低薄膜的制备成本,避免环境污染;AZO薄膜的绒面由表面具有绒面结构的模板决定,能够有效地控制绒面;绒面AZO薄膜的质量容易控制,性能稳定,重复性好。

    一种氮掺杂p型ZnO薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108149196A

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201711415408.5

    申请日:2017-12-25

    CPC classification number: C23C14/086 C23C14/35

    Abstract: 本发明公开一种氮掺杂p型ZnO薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底;S2、使用磁控溅射镀膜设备,将ZnO陶瓷靶作为靶材,清洗后的衬底置入磁控溅射真空腔内,通入溅射气体氩气、氧气与氮气,通过磁控溅射制备得到氮掺杂p型ZnO薄膜;氩气、氧气与氮气的体积比为20:6:0.5;氮气的通入采用环形供气装置,环形供气装置包含水平设于磁控溅射真空腔内的环形饼柱,环形饼柱为空心,环形饼柱的内环壁设有一组出气孔,环形饼柱还连接有延伸出磁控溅射真空腔的供气管;磁控溅射时,环形饼柱环绕包围衬底;直接以氮气为掺杂源,同时改变氮气的供气方式,只需要少量的氮气就可达到氮的离子化,并且容易掺入到ZnO薄膜中实现p型转变,得到p型ZnO薄膜。

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