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公开(公告)号:CN102156386A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201010599858.6
申请日:2010-12-14
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法。本发明的目的在于提供可以形成具有无涂布不匀的高度平整性的层间绝缘膜的聚硅氧烷类正型放射线敏感性组合物。本发明是一种正型放射线敏感性组合物,其包含:[A]硅氧烷聚合物、[B]醌二叠氮化合物以及[C]包含(c1)下述式(1)所示的化合物、(c2)下述式(2)所示的化合物以及(c3)具有下述式(3)所示的基团的聚合性不饱和化合物的聚合性不饱和化合物的共聚物。CH2=CR1COO-CαH2α-CβF2β+1 (1)CH2=CR2COO-(CγH2γ-O)a-R3 (2)
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公开(公告)号:CN1881080B
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:CN200610093693.9
申请日:2006-06-15
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G02F1/1339
Abstract: 感光性树脂组合物,其特征在于,以含有2~20重量%的下式(1)所示的化合物的混合溶剂为溶剂,然后通过缝模涂布机在基板上涂布,式中,R1~R5各自独立地表示氢原子或碳原子数1~6的烷基,n为1~6的整数。提供感光性树脂组合物溶液,其树脂的保存稳定性良好,减压干燥工序时间短,缝隙喷嘴难于干燥且涂膜表面良好,适合缝模涂布法。
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公开(公告)号:CN101622577A
公开(公告)日:2010-01-06
申请号:CN200880006403.X
申请日:2008-02-26
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/028 , G02F1/1339 , G03F7/033
CPC classification number: G03F7/033 , G02F1/13394 , G02F2201/50 , G02F2202/022 , G03F7/031
Abstract: 含有[A]不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与不同于它们的其它不饱和化合物的共聚物、[B]聚合性不饱和化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂、以及[D]硝酰基化合物例如双(1-烃氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)癸二酸酯的放射线敏感性树脂组合物。提供可形成微细的图案、析像性能优异的放射线敏感性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN101271270A
公开(公告)日:2008-09-24
申请号:CN200810086878.6
申请日:2008-03-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/028 , G03F7/004 , G02F1/1339 , G03F7/00
Abstract: 含有使选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少1种和在1个分子中含有至少1个羟基的不饱和化合物的共聚物与ω-(甲基)丙烯酰氧基烷基异氰酸酯反应反应得到的聚合物,以及选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少1种和(a3)具有环氧乙烷基或氧杂环丁基的不饱和化合物的共聚物的放射线敏感性树脂组合物。本发明提供高灵敏度的即使1000J/m2以下的曝光量也得到充分的间隔体形状,可以形成弹性回复性、摩擦耐性、与透明基板的粘合性、耐热性等优异,并且显影性优异,在得到的图案表面上无凹凸状的表面粗糙的液晶显示元件用间隔体的放射线敏感性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN101025567A
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN200610064276.1
申请日:2006-09-30
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 固化性树脂组合物,其特征在于包含(A):通过在特定硫代羰基硫化合物的存在下,通过活性自由基聚合而聚合,通过凝胶渗透色谱测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.7以下,且具有羧基或者环氧基或氧杂环丁烷基的聚合物。
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公开(公告)号:CN1975573A
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN200610171827.4
申请日:2006-07-27
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物,其特征在于含有使通过右式(2)表示的异氰酸酯化合物与(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、(a2)下式(1)表示的1个分子中含有2个或2个以上羟基的化合物和(a3)其它不饱和化合物的共聚物反应所得到的聚合物。式(1)中,R1表示氢原子或甲基,p是0-3的整数,q是1-12的整数。式(2)中,R2表示氢原子或甲基,n是1-12的整数。本发明提供高敏感性和高分辨率,并且即使是低曝光量也能得到充分的隔离物形状,且可以形成弹性回复性、耐研磨性、与透明基板的密合性、耐热性、剥离液耐性等都优异的液晶显示元件用隔离物的放射线敏感性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN1950751A
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN200580013943.7
申请日:2005-02-18
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/032 , G02F1/1339
CPC classification number: G03F7/038 , G02F1/1339
Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物、由其形成的间隔物及其形成方法,其中所述放射线敏感性树脂组合物具有高感度、高解像度,且可容易形成图案形状、压缩强度、摩擦耐性、与透明基板的贴合性等各性能均优异的图案状薄膜,烧结时可抑制升华物的发生。其特征在于:含有(A)聚合物,该聚合物具有羧基和环氧基、且通过凝胶渗透色谱测定的、经聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)和经聚苯乙烯换算的数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.7以下,(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN1841196A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610067016.X
申请日:2006-03-31
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/00 , G02F1/1339 , G02F1/1333
Abstract: 本发明的课题在于提供一种适合用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物。为了解决上述问题,本发明提供一种用于同时形成垂直取向型液晶显示元件的突起和分隔物的放射线敏感性树脂组合物,其特征在于:包括,[A]将下述(a1)~(a2)共聚而得到的共聚物,其中(a1)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,(a2)是(a1)成分以外的其它不饱和化合物;[B]聚合性不饱和化合物;和[C]以乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基)-,1-(O-乙酰基肟)所代表的特定结构的放射线敏感性聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN1841192A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610079427.0
申请日:2006-03-16
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/20 , G03F7/40 , G02F1/1339
Abstract: 一种高灵敏度和高分辨率、显影时间短,并且即使在低曝光量下也可以得到充分的间隔体形状,能够形成弹性回复性、耐摩擦性、与透明基板的附着性、耐热性等性能优良的液晶显示元件用间隔体的放射线敏感性树脂组合物。该放射线敏感性树脂组合物包括:[A]通过共聚(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、(a2)下式(1)所表示的不饱和化合物、以及(a3)除上述(a1)~(a2)以外的其它不饱和化合物而得到的共聚物,[B]聚合性不饱和化合物,和[C]放射线敏感性聚合引发剂。式中,R1表示氢原子或甲基,R2、R3和R4各自独立地表示氢原子、羟基、碳原子数为1~6的烷基或碳原子数为1~6的烷氧基,并且n是0~6的整数。
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公开(公告)号:CN1766733A
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200510118449.9
申请日:2005-10-28
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、及使用该组合物形成间隔物的方法,该间隔物用于显示面板,该组合物含有:(A)乙烯性不饱和羧酸和/或乙烯性不饱和羧酸酐、含环氧基的乙烯性不饱和化合物、和其他乙烯性不饱和化合物形成的共聚物,(B)具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物,(C)感放射线聚合引发剂,及(D)两分子末端被低级烷基或低级酰基封止的丙二醇或二丙二醇。
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